光学元件损伤在线检测中的图像处理-强激光与粒子束.PDF

第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 18 7 Vol.18 No.7 年 月 , 2006 7 HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAMS Jul.2006 文章编号: ( ) 1001-4322200607-1085-05 光学元件损伤在线检测中的图像处理* , 1 2 2 1 2 2 解亚平 , 孙志红 , 成 泽 , 陈 波 , 景 峰 ( 华中科技大学物理系,武汉 ; 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳 ) 1. 430074 2. 621900 摘 要: 利用在传统的边缘提取方法上加入灰度抑制,并在梯度计算中考虑每个像素与周围 个邻域的 8 关系的图像处理方法,解决了在线检测中被检测元件以布儒斯特角放置、元件片数较多、 所采集的损伤图 CCD 像噪声成分复杂等造成的像质较差的图像处理问题,并系统地进行了光学元件疵点分析和计算。分析计算结 果表明:此图像处理方法得到的损伤疵点尺寸与实际尺寸相符,误差在检测的范围内;为大型光学系统中光学 元件损伤的在线、自动化检测提供了一种有用的技术途径。 关键词: 图像处理; 光学元件损伤; 边缘提取; 在线检测 中图分类号: TN911.73 文献标识码: A 在高功率固体激光装置中,强激光通过介质时产生非线性效应,容易导致光学元件表面损伤和内聚焦丝形 [ ] 成 1-2 。为了保证工作人员的安全,防止真空爆炸,降低由于损伤点衍射造成的激光器性能的退化以及元件损 伤对光束质量的影响,必须对光学元件的损伤予以及时检测;当疵点达到一定大小时,光学元件必须予以拆 [ ] 换 3 。美国利弗莫尔实验室( )从 年开始就在 装置上进行光学元件在线检测的早期研究工 LLNL 1995 Beamlet [ ] 作,之后又将此装置作了一些改进,应用到 NIF装置 4 。LLNL在光学元件在线检测中主要使用暗场成像技 [ ]