KrF掩模版在ArF曝光机上的应用分析.pdfVIP

第 1章 引 言 1.1 研 宄 背 景 进 入 2 1 世 纪 以来 ，我 国信 息产业 在 科 研及 生产 方 面 都取得 了快 速 的发 展 ， 并 己经 成为我 国 国 民经济 发展 的支柱产 业 之 一 。集成 电路 是 当今信 息产业及 社会 的基础 ，也是 改革 和 深 化 传 统产 业 之 核 心技 术 。随着 世 界 的全 球 网络 化 、信 息化 及 知识经济 的浪潮 的到来 ，集成 电路产业 也 显示 出越 来越 重要 的低位 ，它 已经 成 为事 关 一个 国家 的 国民经 济 的发展 、国防事 业 建 设 、人 民生活及 信 息安全 的基 础 性 、战略性 的产 业 。20 10 年世 界集成 电路 的销 售 额将 突破 6000 亿 美 元 ，预计 在 未来 十 年 之 内世 界集 成 电路销 售 额将 以每 年 15% 的速度 增 长 。可 以说 ， 目前 以集 成 电路 为 基础 的信 息产 业 已经超 过 了 以钢 铁 、石 油 、汽 车 为代 表 的传 统 行业 ，己 发展成 为世 界第 一大 行业 。所 以集 成 电路 已经 成 为 当今世 界经济 竞争 的焦 点 ，拥 有 自主 知识产权 的集成 电路 己 日益成 为 国家经 济 发 展 的命脉和 国际竞 争 的筹码 。 1958 年 ，美 国德 克 萨 斯仪 器 公 司 的一位 工 程 师 杰 克-基 尔 比 (Jack K ilby) 制 造 成 功 了世 界 上 第 一块 集 成 电路 ，这 个装 置 揭 幵 了人 类 二十 世 纪 电子 革 命 的序 幕 ， 同时宣告 了数字信 息 时代 的来 临 。在 以后 的近 60 年 时 间里 ，集成 电路 已经 被广泛 应用 于工业 、军事 、通 讯和遥控等各个 领域 。用集成 电路来 装配 电子 设 备 ， 其装 配 密度 与 晶体 管相 比可 以提 高几十倍 甚 至 几千 倍 ，同事 设 备 的稳 定性 也 可 以 大 大提 高 。1965 年 ，英 特 尔 （Intel) 创 始 人 之 一 戈 登-摩 尔 G（ordon Moore ) 提 出每 个 芯片上 可容纳 的 晶体 管数 目，约每 隔 12 个 月 （1975 年摩 尔将 12 个 月 更 改为 18 个 月 ）便会 增 加 一倍 ，性 能也将 提 升 一倍 ，当价 格 不 变 时 ；或 者 说 ， 每 一美 元所 能 买到 的 电脑 性 能 ，将 每 隔 12 个 月翻 两 倍 以上 。这 一 定律 揭 示 了信 息技 术 惊 人 的发展 速 度 。之后 的三 十 多年 的发展 证 实 了摩 尔 定律 惊 人 的正确 性 。 目前 根 据 国 际半 导 体 工 业 协 会 制 定 的半 导 体 发 展 路 线 图 （Th e In ternat iona l Techno logy Roadmap for Sem iconductor s, ITRS ) 的预测 ，发展 到 20 15 年 ，集 成 电路 的 “技 术 节 点 ”将 达 到 25nm 技 术 。 同时几何尺 寸 的按 比例缩 小 （例 如根 据 摩 尔 定律 的按 比例 缩 小 ）将 继 续 作 为业 界 的指 导 目标 ，并 将 继 续在 芯 片 制 造 的 很多方面超着指导作用 。 3 Vear of P rodu ctoin 20 09 2 0 10 20 11 20 12 20 13 20 14 20 15 F lash } /P itch (nm ) (tm -con tacfed P o iy) (f)l2 l 3 8 32 28 2 5 2 3 2 0 18 D R A M AP itch (nm ) (con tacte (I)fl,2/ 52 4 5 4 0 36 32 2 8 2 5 M P V /A S IC M etal 1 (M l) /2 P itch (nm )lh 2] 54 4 5 38 32 27 24 2 1 表 L 1 ITRS Techno logy Trend Targets