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净化 第21届暖通空调制冷学术年会（2018）文集 Purification 全解耦式净化空调系统及其应用 刘燕敏 （同济大学，上海200092 ） ［摘 要］服务于受控的洁净区域的传统净化空调系统，由于系统自身的耦合性，难以适应受控区域内洁 净空间不同的环境控制要求，以及不断更新的工艺。由于将传统的净化空调系统完全解耦，可以按工艺要求任 意组合系统的组件能独立解决各自的环境控制要求与更新的工艺，而不影响到整个受控区域或邻近空间。 ［关键词］洁净受控区域；洁净空间；环境控制要求；系统耦合与解耦 0 引言 环风系统的解决方法。 所谓洁净室是浮游颗粒数量受控的空间，是一 洁净室这种成熟的热湿解耦的处理技术不断地 个低污染的环境。这浮游颗粒物可以尘埃、微生物， 推广应用到医药、生物、实验室、甚至民用的领域。 气溶胶粒子和化学蒸气。洁净空间的布局，空间划分， 也出现了五花八门的新名词，产生了各种各样的专 系统设计等一般来说都是围绕着某一工艺过程开展 利，如温湿度分开处理、温湿度独立调节、温湿度 的。常常用于电子、医药产品、生物实验室、医疗 独立控制等等。 关键科室、医学实验室、中试平台或其他类型的科 正是因为洁净空间除了像电子、制药等大型洁 学研究等领域。 净厂房外，更多的受控环境如医疗关键科室、中试 洁净室工程往往服务于高科技。所谓高科技产 平台、临床GMP 医学实验室等。受控区域被分隔成 品就是知识密集、技术含量大、具有高附加值的创 不同的洁净空间，空间较多、相对较小，辅助空间 新产品，产品开发与更新速度已成为竞争的主要手 相对又低又小，难以布置机房与相应管线。各空间 段。为加快高科技产品的更新换代迫使着工艺不断 的温湿度、洁净度、压差控制要求又不同，造成热 更新，或使建造符合新工艺的洁净设施尽早运行， 负荷与湿负荷之比也各不相同。为此，常常各自独 如何使为之配套的净化空调系统尽快地服务于新的 立设置净化空调系统，有的甚至要求全新风全排风。 工艺是一个值得探讨的问题。 根据不同环境控制要求，又采用了大量的不同类型 1 传统洁净厂房及其控制系统 的通风柜、排风式洁净工作台、生物安全柜等排风 近代的洁净厂房服务于电子芯片等工艺，厂房 设备。而这些排风设备并非长期恒定工况运行，如 的中心层为大面积的洁净生产区域（或称工艺层）； 工作状态的正常面风速排风量、待机状态的低面风 区域内布置特定工艺区和中央走廊，关键工艺处设 速排风量或关闭状态。室内多台排风设备同时使用 置高洁净度的产品走道和微环境设施。上层的巨大 系数不一。尽管对通风空调系统配有自控，有的也 空间用于布置送风管网或整个用作送风静压箱；其 采用热湿负荷解耦处理，但是各排风设备运行状态 下层准洁净区域（或称设施层）是用来安排从洁净 的变化难免会造成对所在的实验环境的控制参数（如 区移出去的设备、工艺设施以及公用设施的集中管 温湿度、洁净度、内外压差、甚至区域内有序梯度 网；在设施层和工艺层之间设有回风空间；洁净区 压差）有所影响。可见，传统净化空调系统当工艺 域周围设置竖井用于回风。由于工艺过程热负荷大 过程更新，各空间的温湿度、洁净度、内外压差等 大高于湿负