半导体材料测试技术.ppt

三、定标及技术性能 1.定标 由于载流子浓度n之间跨度较大，所以纵轴以logn标度。横轴以μm标度。 2.技术性能 测量载流子浓度范围：1013cm-3-1020cm-1 测量深度：0.05μm-50μm 深度分辨率：2nm 波长范围：500nm-2000nm 四、外延片电化学测试 针对某种待测半导体材料选择合适的电解液。这种电解液要满足下面两个条件：（1）对所要测量的半导体材料有电解腐蚀作用；（2）电解液与该半导体形成肖特基结。外延片采用本实验室MBE生长的激光器结构材料。在样品插入电化学池前，先用丙酮液清洗已经切好的大约8mm×10mm外延片，用去离子水冲洗电解池并小心干燥，以确保电解池电解液浓度。 五、测试结果分析 电化学 C-V测试的关键是找到一种合适的电解液，以获得优化测试参数，特别是测量电压和电解电流的选取。才有可能得到准确、可靠的测试结果。 测试条件（经常需要调整的参数主要是电解电流和测量电压）必须相应及时地进行调整，以保证数据的准确性。在实验中，有3个参量可以作为测试条件是否合适、所测数据是否准确的判据。 1．平带电位值（F.B.P）; 2．耗散因子（D）; 3．测量电流值（Im） 测试结果 第五章 扫描电子显微镜的原理 及其应用 光学显微镜以可见光为介质，电子显微镜以电子束为介质，由于可见光的波长较长（4000 - 7000?），按照分辨率不能超过波长1/2的原理推算，光学显微镜的分辨本领不能超过2000?，放大倍率最高只有约 1600倍。根据de Broglie波动理论，电子的波长仅与加速电压有关： λe＝h / mv，在 10 KV 的加速电压之下，电子的波长仅为0.12 ?，在 50 KV 的加速电压之下，电子的波长仅为0.02 ?-0.04 ?，由于电子束波长远较可见光小，所以电子显微镜分辨率自然比光学显微镜优越许多。可以利用这种仪器来研究物质的表面形貌、缺陷结构、晶体完整性等性质。扫描电子显微镜的突出优点是景深非常大，放大倍数范围很宽（40—500000倍），它能将样品表面起伏的立体形貌精确的复制出来。 第一节 扫描电子显微镜结构和 工作原理 一、 扫描电子显微镜的工作原理 扫描电子显微镜的电子—光学系统，能产生一束很细的电子，并在样品表面连续进行扫描。这一束电子称为初生电子，当它轰击到样品表面上时有一部分被吸收，其余的被反射，并且还能从样品中释放出次生电子。次生电子和反射电子被一个“电子收集器”所捕获，然后将这电子电流放大并用来调制显像管显示屏的亮度。这样，屏上各点的亮度便代表被电子束照射的物体上的各点所发射的电子数。因为这一亮度主要取决于初生电子束的入射角以及物面与电子收集器之间的相互位置，所以物体表面上的起伏貌相（就像用侧照明所获得的那样）就在显像管屏幕上显示出来。 二、扫描电子显微镜的构造 扫描电子显微镜由电子光学系统（镜筒）、偏转系统、信号探测放大系统、图像显示和记录系统、电源系统和真空系统等部分组成，各部分的主要作用简介如下。 1．电子光学系统 电子光学系统由电子枪、电磁聚光镜、物镜光阑、样品室等部件组成。它的作用是用来获得扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源。场发射电子枪是高分辨率扫描电子显微镜较理想的电子源。 2．偏转系统 3．信号检测放大系统 4．图象显示和记录系统 5．电源系统 6．真空系统 三、扫描电子显微镜的主要性能 1．放大倍数 日本日立公司的S-4200型场发射扫描电子显微镜的放大倍数可以由40倍到500000倍连续调节。在使用加速电压15kV时，分辨率可达到1.6nm，加速电压5kV时，分辨率可达到2.2nm。 2．分辨率 分辨本领是扫描电子显微镜最主要的一项性能指标，影响分辨本领的主要因素有：①扫描电子束斑的直径，扫描电子显微镜的最小分辨本领不可能小于扫描电子的束斑直径。②入射电子束在样品中的扩展效应。③操作方式及其所用的成像信号（二次电子、背散射电子等）。调制信号；④信号噪音比越高，分辨率越低。⑤杂散磁场、机械振动等都会使分辨率下降。 第二节 扫描电镜图像衬度原理及应用 一、像衬原理 高能电子入射固体样品，与样品的原子核和核外电子发生弹性或非弹性散射，这个过程可激发样品产生各种物理信号。样品微区特征（如形貌、原子序数、化学成分、晶体结构或位向等）不同，则在电子束作用下产生的各种物理信号的强度也不同，这使得阴极射线管荧光屏上不同的区域会出现不同的亮度，从而获得具有一定衬度的图像。所以像的衬度就是像的各部分（即各像元）强度相对于其平均强度的变化。扫描电镜可以通过样品上方的电子检测器检测到具有不同能量的信号电子，常用的信号电子有背散射电子，二次电子，吸收