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TPK Confidential and Proprietary Information ESD知识学习 2008.Apr.14th 什么是静电 ？ 静电 静止未流动的电荷。能够长时间停留在某些物料上。 静电放电 当两个带不同静电电位的物件相互接近到某程度或接触时，静电从一个物件突然流放到另一物件上的现象。 静电荷的基本单位 库伦 Coulomb (C) 库伦定律 1、力作用在两点的直接连线方向上 2、力的大小和电荷量的乘积成正比 3、力的大小和距离的平方成反比 电荷的一些特性 电荷不能够被生产或消灭，只能够被转移 电子电量 = - 1.6 x 10-19 C 质子电量 = + 1.6 x 10-19 量化预测电荷量的产生是不可能的 一块布料和一片塑胶的摩擦可以促使百万亿电荷的转移 什么叫ESD ESD的意思是“静电释放”的意思，它是英文：Electro-Static discharge 的缩写 静电是一种客观的自然现象，产生的方式多种，如接触、摩擦等。静电的特点是高电压、低电量、小电流和作用时间短的特点。 人体自身的动作或与其他物体的接触，分离，摩擦或感应等因素，可以产生几千伏甚至上万伏的静电。 有关ESD的错误观念 只有MOS 类的半导体容易受损 只有未经组装的器件容易受损 只有低湿度环境会产生静电 在动ESDS器件前先触摸接地点的做法足够避免ESD破坏 只要我们注意使用防静电腕带和对工作台接地，我们应该可以避免ESD破坏 只要我们使用注明“防静电材料”的包装，我们就安全 缺乏管制意识的主要原因 1. 人体能感觉出静电存在的水平为 2,000 ~ 4,000 volts，敏感器件只须 100 volts便能被损坏 ( 大部分 1,000 volts ) 2. 大部分的静电破坏是潜在的，并不能够被马上识别出。 3. 静电破坏现象有较差的重复性, 并且不容易模拟。 4. 找出静电破坏的证据和根源一般相当不容易，而且成本能很高( ESD 破坏常被误判为 EOS 损坏 ) 5. 缺乏培训和对问题的重视 有关ESD的错误观念 金属是防静电材料，因此不会产生静电 静电都是由摩擦而生的 导电(conductive)或传电(dissipative)材料是防静电(antistatic)材料 静电的“产生” 静电的产生有四个途径。。。 1. 接触分离 （最常见的‘摩擦’） 2. 电感应 3. 电容效应 4. 压电效应 摩擦和接触生电 静电不是由摩擦产生的！ 摩擦过程增加接触面，接触产生静电。 许多物料的表面都不够平整或具备足够的柔性，来达到接触/分离所需要产生静电的程度。 片状物和粘带具备良好的接触条件，所以较容易产生静电。 除了增加接触面，摩擦也同时增加分离速度。 决定静电量的主要因素 材料（包括材料的相对性） 接触面积和表面粗糙情况 接触力 分离速度 环境湿度 公司的ESD防护 1、环境的考虑（湿度） 2、设备接地 3、防静电腕带 4、防静电推车 5、电场离子风机 6、离子风扇 7、离子风枪 8、温湿度量测仪 一、湿度的考虑 空气中的水气增加空气的导电性，因此减少静电的产生或累积。。。 相对湿度越高越好 ( 60% ) 高湿度对于一些考虑 ( 例如腐蚀、污染 ) 不利 折中湿度要求 40% ~ 60% 低于 30% 的湿度对于静电防御要求十分困难 干燥而带杂质的空气，在高速流动下（如清洁工艺）也容易产生静电 什么湿度适合？ 重要的观念 … 30% 是防静电的下限要求( 试验观察到“中和电流”在30%左右出现 ) 70% 是常用的上限(基于污染冷凝等考虑) ESD控制的推荐40 % ~ 60% R.H.范围 美国军标 MIL-STD-1695 推荐30 % ~ 70% R.H. 二、为什么使用“地” ？ “地” 是良好的导体和电荷载体 “地”的体积和容量巨大，任何吸收的电荷量都不会改变其电位 方便，到处可得 接地点可为建筑物的电力系统、建筑物本身的钢骨结构、埋设的金属地桩、建筑物的地基等。 接地保护 控制原理：提供放电途径，使带电物件通过放电和受保护物件达到相同电位。 控制条件：接地的物件必须有足够的导电 性( 1012 ? /  )，所有物件都必须连接到同一点（至少在同一 EPA中必须如此）。 注意事项：放电速度必须得到控制，不能太快或太慢 ( 105 ? R 109 ? 为佳) 。 必须照顾到人体安全性。 接地控制做法 1. 所有导体必须接到同一“地”点；