氢化操作规程1.docVIP

四氯化硅转化三氯氢硅操作规程 A:四氯化硅氢化工艺描述 一：工艺原理： 四氯化硅氢化的反应原理是SiCl4与H2混合气体在加氢反应器内与硅粉充分接触，在2.0~2.5MPa 压力、450--500℃和催化剂的条件下， SiCl4和氢气进行反应生成SiHCl3；主要反应方程式如下： 450~500 3SiCl4 + Si + 2H2 4SiHCl3 催化剂 二：工艺描述 硅粉的活化干燥 将硅粉和触媒按照一定的比例吊装到混料机，进行的搅拌，在硅粉和触媒搅拌混合均匀后，下料至硅粉活化干燥器，然后重复以上操作，至活化干燥器料（8.5M3）位达到80%停止。（ 将硅粉活化干燥器进行氮气置换，检测氧含量低于50ppm后，通氢气置换至氢中氮含量低于200ppm后，启动硅粉活化干燥器的电加热，按照触媒的活化干燥操作曲线，对硅粉活化干燥器内的硅粉进行活化干燥。 同时可以在系统开车时，将加氢反应器中也加入硅粉，活化干燥器和加氢反应器一同进行干燥活化。 待氢化反应系统完成氮气和氢气置换后，启动氢气压缩机，将氢气和四氯化硅按照2:1的摩尔比通入混合加热器中，控制混合气化器出口温度，经过分离器继续加热，然后进入加氢反应器中，通过电加热，在450--500度