LED衬底第3－4部分：蓝宝石图形化衬底片测试技术规范.doc

PAGE 1 广东省地方标准 《LED衬底　第3-4部分：蓝宝石图形化衬底片测试技术规范》 编制说明 《LED衬底　第3-4部分：蓝宝石图形化衬底片 测试技术规范》标准起草小组 2013-8-5 广东省地方标准《LED衬底　第3-4部分：蓝宝石图形化衬底片测试技术规范》 编 制 说 明 标准制定的背景 目前市场上GaN基LED所用衬底材料主要有蓝宝石（Al2O3）、碳化硅（SiC）、硅（Si）、以及氮化镓（GaN）等。从制造技术成熟度、稳定性及成本几方面考虑，蓝宝石衬底都是主流选择；中国市场上99%的衬底材料是蓝宝石，而其作为主要应用的LED市场份额也占到95%以上。然而由于GaN和蓝宝石大的晶格失配和热膨胀系数的差别，使得在衬底上生长的GaN材料位错和缺陷密度较大，造成载流子迁移率降低与载流子寿命减少，从而影响器件的发光效率。蓝宝石基底图形化衬底片（简称PSS）从两个方面使得蓝宝石衬底生长GaN材料的工艺路线对于LED发光器件性能的提高发生重大突破。一方面由于通过在蓝宝石衬底表面制作具有细微结构的图形，改变了GaN 的生长过程，为GaN生长提供了多种生长晶向的选择，而GaN沿图形表面生长速率不同，从而达到了使晶格失配位错在衬底生长区发生弯曲并合拢，有效的抑制缺陷向外延表面的延伸，降低了外延层应力、改善晶体生长质量，从而降低非辐射跃迁，减少非辐射的复合中心，提高了LED内量子效率；另一方面粗糙化了的GaN与蓝宝石界面能散射从有源区发射的光子，使得原本全反射的光子有机会出射到器件外部，能有效提高光提取效率。因此，PSS上生长的LED的出射光亮度比传统的基于平面衬底的LED大大提高，同时反向漏电流减小，LED的寿命也得到了延长。 目前PSS片没有国家标准和行业标准。为进一步推进和规范LED用PSS片的使用，使得省内的LED外延芯片厂家及配套设备厂家研发和生产有章可循，维护消费者的合法权益，现根据《中华人民共和国标准化法》、《中华人民共和国产品质量法》、《中华人民共和国计量法》等法律法规，本着技术先进、符合国情的原则，在选择标准各项技术内容时，遵循目的性原则、性能原则和可检验原则，特制定本标准。 标准的任务来源 根据粤质监标函〔2012〕677号《广东省质监局关于批准下达2012年省LED照明产业地方标准预立项项目的通知》下达的标准制修订计划，《蓝宝石基底图形化衬底片测试方法》于2012年9月正式列入广东省地方标准制订计划。 本标准由东莞市中镓半导体科技有限公司承担起草工作，广东省标准化研究院归口。 标准的制定过程 为顺利完成该地方标准项目，东莞市中镓半导体科技有限公司成立了专门的标准起草小组，制定了标准编制计划，标准编制小组对蓝宝石基底图形化衬底产品进行了广泛的产品状况调研和市场调研，并于2012年12月13日形成标准框架草案。在进一步讨论编制的过程中，编制小组的重点议题之一，是针对标准名称和与之相关的标准编制范围的讨论。涉及到的议题包括：此标准的名称可否更加明确，普遍使用的衬底有蓝宝石衬底、Si基衬底或SiC衬底，不同的衬底其测试方法很大一部分截然不同。另外，此测试技术规范可否拆分成系列标准，因为LED衬底的测试有很多方面，针对不同的性能指标，其测试方法不同，合在一起编写，表述文字的篇幅繁简不同，会有不协调的情况。12月21日公司就此提交请示报告。2013年2月下旬经广东省标准化技术联盟秘书处组织专家讨论，同意明确产品范围的提议，针对蓝宝石基底图形化衬底的测试编制技术规范，名称初步确定为《LED衬底测试技术规范 第一部分：蓝宝石基底图形化测试技术规范》。3月16日编制完成了该标准的征求意见讨论稿，向标准的协助单位广东赛翡蓝宝石科技有限公司征求意见，并于3月22日在东莞市企石镇工业科技园，召开标准编制组内部讨论会，对标准讨论稿进行逐字逐句的讨论。4月7日将征求意见讨论稿提交至联盟网站标准论坛进行函审。根据网上收集到的反馈意见，我们对标准征求意见讨论稿进行了包括编写规则方面在内的规范和完善，形成目前的送审稿。 2013年7月15日召开专家审议会，会上专家重点关注的内容之一是标准的名称和范畴问题，建议将蓝宝石衬底与图形化衬底作为两个独立的内容分别编写。会后就此议题与秘书处沟通与请示，经秘书处建议，我们对LED衬底体系进行了系列化标准的策划，第一部分为LED衬底总规范，并将本标准内容归入第三部分测试技术规范，名称暂定为《LED衬底　第3－4部分：蓝宝石图形化衬底测试技术规范》。 标准主要内容 1.标准编制的原则 本着“科学、适度、可行”的原则，既考虑标准的前瞻性又顾及产业链上下游企业的实际状况，同时，充分听取各方意见，确保本标准既可作为质量监督检查机构监督、指导生产的基础文件，又可作为产业链的各环节商务交涉的重要依据。 本标准遵循