电子材料环保型水基清洗剂的研制工作报告.doc

PAGE PAGE 1 《电子材料环保型水基清洗剂的研制》 工作总结报告 概述 1、项目来源 二00八年宜春市科技计划项目。 2、设计思想依据 随着科学技术的进步,微电子行业取得了迅速的发展,集成电路是信息产业群的核心和基础。建立在集成电路技术进步基础上的全球信息化、网络化和知识经济浪潮，使集成电路产业的战略地位越来越重要，对国民经济、国防建设和人民生活的影响也越来越大。因此，发展我国集成电路产业是推动国民经济信息化的重要保证，是信息产业发展的重中之重。集成电路市场的巨大发展必然驱动作为集成电路生产过程中必不可少的易耗材料市场的蓬勃发展，作为微电子产品加工过程中重要消耗材料之一的清洗剂，有着巨大的市场。 3、技术现状和发展趋势 技术现状： 对ULSI（特大规模集成电路）硅衬底、电子玻璃及LCD屏等表面上的金属离子、有机、无机杂质和固体粒子清洗，传统电子清洗行业广泛使用破坏臭氧层物质，如三氟三氯乙烷（CFC-113）和1,1,1-三氯乙烷等，随着《中国清洗行业ODS整体淘汰计划》的实施，这类清洗剂被逐步淘汰。清洗行业开始使用水基清洗剂，多数是进口（日本、美国）产品，但在国内还没有较好的替代产品，本省更是空白。本项目产品的研制成功，进入市场后，对进口产品会形成一定的竞争压力。 发展趋势： 我国集成电路产业经过30多年的发展，尤其是“七五”以来，我国加强了集成电路产业的建设，初步形成了7个芯片生产骨干企业、几十个封装厂、百多家设计公司，以及若干个关键专用材料和设备制造厂构成的产业群体。预期未来几年，国内IC市场将维持30%以上的增长率。 半导体前三大应用领域分别为资讯、通信和消费性电子，中国在这些领域有极高的增长率。依据中国证券报报导，因外资企业大量将生产基地移往大陆，使大陆成为全球重要生产基地。由于市场发展潜力巨大，再加上中国政府重点扶持，促使中国半导体市场快速发展。集成电路市场的巨大发展必然驱动作为集成电路生产过程中必不可少的易耗材料市场的蓬勃发展，而本公司正是瞄准了这块市场，并开发具有国内领先水平的电子材料环保型水基清洗剂产品。 随着技术的进步和环保要求的提出，新型、高效、专业、环保的清洗产品是产业的发展趋势，具有广阔的市场发展前景，是今后研究和发展的方向。 本课题研究的主要内容 主要围绕完全可以代替微电子用的氟里昂、三氯乙烷等ODS清洗剂为目标，选择优质的环保原料，科学配方，研制出能够有效地清洗ULSI（特大规模集成电路）硅衬底、电子玻璃及LCD屏等固体表面上的金属离子、有机、无机杂质和固体粒子，与同类产品相比具有清洗时间短、渗透力强、浓缩度高、使用方便、安全、无毒、对人体无害、对环境无污染、对大气臭氧层无破坏作用等优点的电子材料环保型水基清洗剂。 结论 课题组人员经过两年的共同努力，主要围绕电子材料环保型水基清洗剂为目标，展开了对电子材料环保型水基清洗剂的配方和清洗能力的研究，攻克了多道难题，成功地研制出电子材料环保型水基清洗剂，经过试销后，已经得到了客户的好评，完成了项目合同书的各项指标，主要技术指标处于国内领先水平。 技术创新 由于采用了《离子-非离子型表面活性剂、非离子化合物的复配方案》的技术创新，选择了新型脱脂效果较好、并且浊点较高、温和、绿色环保、钠离子含量低的FMEE（脂肪酸甲酯乙氧基化物）、APG（烷基多苷）表面活性剂。研制出了电子材料环保型水基清洗剂，不含磷酸盐和亚硝酸盐，生物降解性能好，并且具有清洗效率高、清洗时间短、渗透力强、浓缩度高、使用方便、安全、无毒、对环境无污染，对大气臭氧层无破坏作用，由于金属离子含量低，PH值为中性，有效地解决了LCD清洗中的电极腐蚀问题等优点，与同类产品比较，更为突出的是：本清洗剂为中性产品，经过清洗后的废液不需要另行再处理，可以直接排放，既符合国家的产业政策（节能减排），又可为企业节约成本。 技术指标完成情况对比： 指标名称 项目计划数 项目完成数 ?山东大学 日本花王 钠离子含量：≤ppm 41 40 420 32000 密度：（20℃ g/cm3） 1.12 1.008 PH值： 9 7.1 10 11 渗透力：≥ 50 61.4 60 60 清洗率：≥% 99.7 99.7 98.0 96.0 浓缩度 20：1 7：1 1.1：1 项目产品经江西省分析测试中心和上海有机化学研究所对电子材料环保型水基清洗剂的检测，通过以上数据对比，可以看出各项指标均达到或超过项目的计划数。与同类产品相比，各项指标都处于国内领先水平。 经济指标完成情况 指标名称 项目计划数 项目完成数 项目达产年 生产能力（吨） 1000 32 800 销售收入（万元） 2500 89.60 2240 利润总额（万元） 287.60 4.48 770.56 税收总额（万元） 440.40 7.0