Xps分峰拟合操.doc

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Xps数据avantage软件分峰拟合操作 打开软件,选择目标文件,打开 选中C 1s图谱,点击放大。 点击,弹出窗口 选择Shirley,变为下图。 选取图谱中主峰两侧较为平滑的区域,分别将横坐标输入Start(大)和End(小),并可通过上下箭头进行微调。确定合理后,点击Add,主峰下方会出现如图绿线。工具栏下方会出现C1s相关信息表格,Peak BE即为C1s峰值。与标准峰值284.8eV比较即可得出所得实验谱的偏差,本例为+3.2eV。 选择目标实验谱本例中为Mn2p,放大。点击,弹出窗口 在Shift By后输入偏差值,因本实验谱偏大3.2eV,故需将其减小相应值,即点击,会观察到实验谱横坐标减小相应值,点击Close。即完成能量校正。 点击,类似C1s校正,选择主峰对Mn2p3/2加峰 选择Peak Fit,点击,弹出窗口,选择Add Fitted Peak,如图,并排三个书写框,Peak Centre即为某元素某化学态对应峰值,首先输入,FWHM Start其次输入,大小为峰值+0.5,FWHM End最后输入,为峰值-0.5,无误后点击Add Peak完成加峰。 对各状态对应峰值依次添加,加完之后,点击OK,如图。 对上图图谱下拉,对信息表格进行编辑。删除主峰(本例为Mn2p)对应信息,点击左侧任意字母后,右键,取消Show Constraints对勾。将Name改为易识别以区分的名字,然后将FWHM fit para全部改为1.25,并全选,点右键,锁定。并将Peak BE也全部锁定。 上拉显现图谱,选择某一特征峰后,图谱中会出现对应峰的拖拽工具,逐次选定每一个峰,并将图谱中对应谱线下拉至底部。 根据操作者对样品的理解,先向上拖动主要状态对应谱线,最后拖动最少量状态对应谱线。直至实验谱与拟合谱最大程度重合。 点击,再依次点击accep→tOK。点击peaks,信息表中即出现各状态含量信息。将C1s和Mn2p最后一栏取消勾选。则倒数第二栏即为各状态的百分含量。 点击file→save as即可保存工程文件。在对应图谱上方击右键选择Copy Active Cell可将数据复制用于绘图软件作图。

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