Xps分峰拟合操.doc

Xps数据avantage软件分峰拟合操作 打开软件，选择目标文件，打开 选中C 1s图谱，点击放大。 点击，弹出窗口 选择Shirley，变为下图。 选取图谱中主峰两侧较为平滑的区域，分别将横坐标输入Start（大）和End（小），并可通过上下箭头进行微调。确定合理后，点击Add，主峰下方会出现如图绿线。工具栏下方会出现C1s相关信息表格，Peak BE即为C1s峰值。与标准峰值284.8eV比较即可得出所得实验谱的偏差，本例为+3.2eV。 选择目标实验谱本例中为Mn2p，放大。点击，弹出窗口 在Shift By后输入偏差值，因本实验谱偏大3.2eV，故需将其减小相应值，即点击，会观察到实验谱横坐标减小相应值，点击Close。即完成能量校正。 点击，类似C1s校正，选择主峰对Mn2p3/2加峰 选择Peak Fit，点击，弹出窗口，选择Add Fitted Peak，如图，并排三个书写框，Peak Centre即为某元素某化学态对应峰值，首先输入，FWHM Start其次输入，大小为峰值+0.5，FWHM End最后输入，为峰值-0.5，无误后点击Add Peak完成加峰。 对各状态对应峰值依次添加，加完之后，点击OK，如图。 对上图图谱下拉，对信息表格进行编辑。删除主峰（本例为Mn2p）对应信息，点击左侧任意字母后，右键，取消Show Constraints对勾。将Name改为易识别以区分的名字，然后将FWHM fit para全部改为1.25，并全选，点右键，锁定。并将Peak BE也全部锁定。 上拉显现图谱，选择某一特征峰后，图谱中会出现对应峰的拖拽工具，逐次选定每一个峰，并将图谱中对应谱线下拉至底部。 根据操作者对样品的理解，先向上拖动主要状态对应谱线，最后拖动最少量状态对应谱线。直至实验谱与拟合谱最大程度重合。 点击，再依次点击accep→tOK。点击peaks，信息表中即出现各状态含量信息。将C1s和Mn2p最后一栏取消勾选。则倒数第二栏即为各状态的百分含量。 点击file→save as即可保存工程文件。在对应图谱上方击右键选择Copy Active Cell可将数据复制用于绘图软件作图。