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ASM 860固晶机工程师培训资料 第 PAGE 4 页 共 NUMPAGES 11 页 一、目的：规范固晶机工程师日常工作，确保产品质量的提高及工作效率的提升。 二、对象：固晶机工程师 三、内容： 1.机械构成及维修 1.1芯片控制器：由芯片工作台和推定器组成 芯片工作台主要由X、Y、θ马达和扩晶环固定座组成 X、Y马达控制Ahead晶片时，移到当前晶片位置，θ马 达是控制晶片的旋转角度，当启动工作台启动旋转功能后 θ马达开始工作，当Ahead当前晶片角度偏移量大于我们设定值时，θ马达会自动补偿角度偏差值。 推顶器主要由顶针、顶针帽、推顶马达和XY位置调整 螺丝组成，顶针是工作中顶起晶片，晶片离开蓝膜使吸嘴 容易吸起晶片，顶针型号为0.022×10×17MM，顶针的目 使用寿命为1KK，当顶针拆损或者达到使用寿命后需要及 时更换。推顶马达是来顶起顶针，新更换顶针后，一般顶起主度不超过2300，如果顶起高度小于2000时，需调整推顶马达推顶位置， 松开推顶马达固定推顶位置螺丝，可以用六角棒调整推顶初始位置。顶针帽是保护顶针受到外力损坏。XY位置调整螺丝是用来调整顶针位置，使顶针顶起芯片在中心点。 工作夹具：由叠式载具、工作夹具、输入/输出升降机组成 叠式载具由Load Left Pin、 Load righ