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分凝现象和分凝系数 人们很早发现，将含有杂质的晶态物质熔化后再结晶时，杂质在晶体的固体和未结晶的 液体中的浓度是不同的，这种现象叫分凝现象。区熔提纯就是利用分凝现象将物质局部熔化 形成狭窄的熔区，并令其沿锭长从一端缓慢地移动到另一端，重复多次使杂质尽量集中在两 头，从而使中部材料被提纯的技术。 分凝现象 一块含有杂质的材料，经熔化后再慢慢凝固，，则固体中各部分的杂质浓度不相同，原 来杂质分布均匀的材料，经熔化及凝固后（如图，由左端向右端逐渐凝固），杂质分布不再 均匀，有些地方杂质多，有些则少，便得到杂质分离的效果。 固相 液相 图1.由左端向右端逐渐凝固 分凝现象是二元系（或多元系）相平衡特性所产生的效果。二元系在固液两相平衡状态 时，固液两相中组元的成分是不相等的；例如含有杂质的硅和锗中，平衡时固相的杂质浓度 与液相的杂质浓度不同。 平衡分凝系数 为了定量地描述分凝现象，需分析二元系的二相平衡情况，应用相图工具。假设以无限 慢的速度从熔体中凝固出固体，即固相与液相接近平衡状态时，固相中的杂质浓度C ；液 S 相中的杂质浓度为C ，其比值为： L k CS 0 C L 称作杂质对某一种半导体材料的平衡分凝系数。对某种材料来说，杂质不同k 值也不同， 0 k0 还与杂志的浓度有关，当杂质浓度较小时，值可视为常数。 p` 根据相图知识，图2 是组元A-B 形成连续固熔体的相 q 图。A 的熔点比B 的熔点高 ，由图可知，当某一组分p p 的材料由p` 的熔体降温到T1 时，将析出固体，其组分为Q 。 L+S 在析出的固体q 中物质B 的含量要小于熔体p 中物质B 的 含量。这就是分凝现象。溶质B 在材料A 中的平衡分凝系 数就是AQ 与AP 的比值。 图2.A-B 二元系相图 T 液相线 液相线 T T ΔT 固相线 固相线 ΔT k 1 k =1 0 0 k 1 0 x x x 图3. 固、液相线位置与平衡分凝系数的关系 由于AB 体系的固相线和液相线并不是直线，说以杂质B 浓度不同时其比值也不同。 但是，当B 含量很小时，固相线和液相线皆可视为直线。此时