第5节光敏传感器.ppt

爱因斯坦光电效应方程： 二、光敏电阻 电路符号： （2）光敏电阻的主要参数和基本特性 1.暗电阻、亮电阻、光电阻 2.光照特性 3.光谱特性 4.伏安特性 5.频率特性 6.稳定性 7.温度特性 （3）光导电阻与负载的匹配 三、光电池 利用光生伏特效应 （1）光电池的结构原理 （2）基本特性 1.光照特性 2.光谱特性 3.频率响应 4.温度特性 （3）光电池的转换效率及最佳负载匹配 四、光敏二极管和光敏三极管 （1）光敏管的结构和工作原理 （2）光敏管的基本特性 1.光谱特性 2.伏安特性 3.光照特性 4.频率响应 5.暗电流－温度特性 6.光电流－温度特性 五、光电传感器的类型及分类 （一）光电传感器的类型 1.第一类：连续输出 2.第二类：断续输出 这类传感器大多用在光电继电式监测器如： 电子计算机光电输入机 转速表的光电传感器 （二）应用 1.光电耦合器 （2）砷化镓发光二极管 2.光电转速计 1、光栅基础 物理光栅：刻线细密， 利用光的衍射现象，主要用于光 谱分析和光波长等量的测量； 计量光栅：主要利用莫尔现象实现长度、角度、速度、 加速度、振动等几何量的测量。 透射式光栅 反射式光栅 黑白光栅（幅值光栅） 闪光光栅（相位光栅） 长光栅 圆光栅 （2）光栅结构 光栅是在刻划基面上等间距（或不等间距）地密集 刻划，使刻线处不透光，未刻线处透光、形成透光与不 透光相间排列构成的光电器件。 光栅上的刻线称为栅线，栅线的宽度为a，缝隙宽度为 b， ω ＝ a + b 称为栅距（也称光栅常数）。 圆光栅还有一个参数叫栅距角γ ， 指圆光栅上相邻两条栅线的夹角 圆光栅有三种栅线形式 莫尔条纹的成因是由主光栅和指示光栅的遮光和透 光效应形成的（两只光栅参数相同）。 主光栅用于满足测量范围和精度，指示光栅（通常 是从主尺上裁截一段）用于拾取信号。 这种亮带和暗带相间的条纹称为莫尔条纹。由于莫尔 条纹的方向与栅线方向近似垂直，故该莫尔条纹称为横 向莫尔条纹。 1、位移放大作用 相邻两条莫尔条纹间距B与栅距ω 及两光栅夹角θ的关系为 若光栅栅距为ω ，i 为刻度线，x为移动距离 则 有 当θ 很小时，光栅副中任一光栅沿垂直于刻线方向移动时，莫尔条 纹就会沿着近似垂直于光栅移动的方向运动。 当光栅移动一个栅距ω 时，莫尔条纹就移动一个条纹间隔B。 当光栅改变运动方向时，莫尔条纹也随之改变运动方向，两者具有相互对应的关系。 因此，可通过测量莫尔条纹的运动来判别光栅的运动。 光栅在制作过程中必然会引入刻化误差。光电元件 获取的莫尔条纹是指示光栅覆盖区域刻线的综合结果， 对刻划误差有平均作用，从而能在很大程度上消除栅距 的局部误差及短周期误差的影响。 刻划误差是随机误差。设单个栅距误差为 ，形成莫 尔条纹区域内有N条刻线，则综合误差△为： 2、光栅传感器的工作原理 （1）光电转换原理 光栅传感器的光电转换系统由光源1、聚光镜2、光栅主尺3、指示光栅4、和光敏元件5组成 当光电元件5接收到明暗相间的正 函数信号时， 光敏元件输出的波形为 U0 ——输出信号的直流分量 Um——交流信号的幅值 X ——光栅的相对位移量 为辨别主光栅的移动方向，需要有两个具有相差的 莫尔条纹信号同时输入来辨别移动方向，且两个莫尔条 纹信号相差900相位。 实现方法时在相隔B/4条纹间隔的位置上安装两只光 敏元件，当莫尔条纹移动时两个狭缝的亮度变化规律完 全一样，相位相差 /2。 滞后还是超前完全取决于光栅的运动方向，这种区别 运动方向的方法称为位置细分辨向原理。 3、莫尔条纹细分技术 （1）细分方法 增加光栅刻线密度 对电信号进行电子插值 机械和光学细分 （2）光电元件直接细分 1、细分原理 CCD直接细分的原理是，利用线阵CCD上 数千个等间距的象素所构成的“感光尺”对整栅距 的位移信号，即周期性的交点移动信号进行细 分，使测量信号能够反映一个栅距内的精确位 移。 与电路细分的栅式测量一样，直接细分法的测量也分为绝对测 量和相对测量两部分。 一个栅距内的