硅片预对准机器人边缘信息采集处理方法-机械工程学报.pdf

第 44 卷第 10 期 机 械 工 程 学 报 Vol.44 No.10 2008 年 10 月 CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING Oct. 2 0 0 8 DOI ：10.3901/JME.2008.10.210 硅片预对准机器人边缘信息采集处理方法* 丛 明 孔祥吉 刘 静 杜 宇 (大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 大连 116023) 摘要：针对 90 nm 工艺、300 mm 直径大尺寸硅片对制造设备的新要求，提出一种硅片边缘信息采集、处理方法，并在此基 础上建立硅片预对准机器人视觉系统。该方法在小波阈值折衷去噪的基础上，利用最小二乘回归拟合和坐标加权平均的数值 方法，通过对硅片边缘特征点的标定、过滤、综合和提取，有效地实现 CCD 采集信号向特征位置数据的转换，解决大尺寸 硅片位置信息的获取和分析问题。重复定位精度测量试验结果表明，硅片预对准机器人视觉系统完成了硅片中心、缺口的检 测定位，