改善tft-lcd中串前扰的工艺研究.docxVIP

f f ilm th i ck n e ss ，w h ic h f ur th e r r ed u c e s th e c o m m o n e l ee t ro d e li ne d e l ay a n d e li m i na t es t he h o r 让 o n ta l c ro s s t al k. T h i s s e e ti on a lso a na ly z e s th e e o u P li ng e a P a c it an c e a n d th e re 峨 io n s h iP b e tw e e n c o 印 li ng c a P a c ito r a n d c r o sst al k. T h e n un 而 u m d i st an c e b etw een the P 饮e l e leetrod e (IT O ) and th e sign a l line (S / D ) 15 then d e term ined ， w h i ch P r o v id e s d a t a f or f ur th e r P 议 e l a p e r tu r e r at io i rn P ro v e m e n t. K e y 认 ] o川 : T F T -- L C D ，C r o s st a l k，l ea k a g e ，b a c k 一c h a r ine l e tc h i ng ，e o 印 li ng e a p a e it or C h in e se L ib 份 r y C la s s m e a t io n C o d e : T N 3 4 6 3 第 一 章 绪 第 一 章 绪 论 1. 1 课 题 研 究 背 景 及 意 义 本 课 题 是 建 立 在 与 企 业 需 求 相 结 合 ，尽 量 贴 近 生 产 的 基 础 上 的 。在 研 究 了 薄 膜 晶 体 管 液 晶 显 示 器 (吓 T-LC D ) 的 大 量 理 论 后 ，结 合 实 习 单 位 的 实 际 情 况 ，将 研 究 方 向 定 在 了解 决 原 因 复 杂 、 与 设 计 及 工 艺 相 关 性 高 的 串 扰 问题 上 。 串 扰 ， 又 称 为 C rossta玫， 本 来 是 指 信 号 线 因 为 电 容 祸 合 的 原 因 ， 互 相 影 响 ， 造 成 信 号 传 输 异 常 。在 薄 膜 晶 体 管 显 示 器 ( 开 T-LC D ) 的 发 展 过 程 中 ，逐 渐 将 串 扰 定 义 为 一 种 画 面 显 示 异 常 的 现 象 ，即 整 个 显 示 屏 上 一 部 分 区 域 会 受 到 另 一 部 分 区 域 的 影 响 ， 而 使 画 面 失 真 。 在 作 T-LC D 发 展 迅 速 的 今 天 ， 大 面 板 尺 寸 ， 高 分 辨 率 ， )’一视 角 ， 甚 至 是 3 D 等 新 的 技 术 对 屏 幕 的 显 示 质 量 提 出 了 更 高 的 要 求 。 而 高 分 辨 率 使 得 像 素 间 距 更 小 ，线 宽 缩 小 ，开 口率 增 加 ，这 些 因 素 会 加 重 串 扰 的 程 度 。 即 便 是 普 通 的 开 下 L C D ， 串 扰 也 会 使 得 产 品 在 检 验 时 被 判 为 不 良屏 ， 使 得 产 品 良率 极 低 ， 有 的 产 品 甚 至 会 出现 10 0% 串 扰 ， 严 重 影 响 效 益 。 调 查 发 现 对 串 扰 的 研 究 ，在 上 世 纪 90 年 代 研 究 较 多 ，F ra泳 R- L 无sch，A . L ien 和 H owa rd 等 人 通 过 改 变 驱 动 程 序 ，改 善 了 水 平 串 扰 川 ‘2’【3’，A hLn， K oo 等 人 通 过 设 计 新 的 器 件 结 构 ， 改 善 了 垂 直 串 扰 “’‘弓’， 黄 瑶 秋 等 人 做 了 串扰 的 光 谱 研 究 「6，。 从 研 究 方 向 上 看 出 ，大 部 分 研 究 都 集 中 在 从 驱 动 程 序 及 结 构 上 改 善 串 扰 ，并 未 从 根 本 上 解 决 串扰 ，只 能 有 所 改 善 。因 此 ，针 对 串扰 的 原 因 ，调 查 与 工 艺 的 相 关 性 ， 就 变 得 非 常 重 要 ，本 课 题 就 是 希 望 能 够 通 过 工