4D+principle--做动画演示参考.pptVIP

2.1 相移干涉技术的原理 续 I1(x,y) = I0 + I cos [ f (x,y)] f (c1) = 0 (0°) I2(x,y) = I0 - I sin [f (x,y) ] f (c2) = p/2 (90°) I3(x,y) = I0 - I cos [f (x,y) ] f (c3) = p (180°) I4(x,y) = I0 + I sin [f (x,y) ] f (c4) = 3p/2 (270°) I(x,y) = I0 + I cos[f(x,y)+ f(c)] 4 j (x, y) p Height (x, y) = l 对同一表面，采多幅不同相位的干涉图， 进行计算，获得表面的数值 2.2 相移干涉技术的原理 －普通干涉仪 准直镜 参考面 被测面 分束器 激光 Camera 光阑 2.2 相移干涉技术的原理 －普通干涉仪 续 f(c)= f(t), 按时间顺序，人为改变干涉图的相位 f (0.03s) = 0 deg f (0.06s) = 90deg f (0.09s) = 180deg f (0.12s) = 270deg Test Part Ref Flat Test Part Ref Flat Test Part Ref F