用于硅片检测的精密直线运动平台的设计与实现.pdfVIP

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2019-07-08 发布于广东
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· 机械制造 · 汪家胜，等 ·用于硅片检测的精密直线运动平台的设计与实现用于硅片检测的精密直线运动平台的设计与实现汪家胜，金建新，周振华，姜伟 (华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室，湖北武汉 430074) 摘要：硅片检测过程要求其运动系统具有较高的精度，实现其中的精密直线运动对整个复合运动平台至关重要。采用直线电机驱动的方式设计了一套精密直线运动平台，阐述了其机械系统和控制系统设计过程。实验