扫描电化学显微镜技术需求-哈尔滨工业大学.docVIP

附件3 扫描电化学显微镜技术要求 配置要求 X, Y, Z扫描平台及控制器包括 控制及分析软件，3D分析软件 1套 LEIS 微区电化学阻抗测试模块； 1套 SECM扫描电化学显微镜模块 包括：电化学工作站两台 1套 扫描开尔文探针模块包括锁相放大器一台 1套 扫描振动参比电极模块 1套 OSP（非接触表面扫描成像系统） 1套 SDC扫描电解液微液滴测试模块 1套 彩色摄像头(成像系统)： 1套 扫描电化学用微电解池： 1个 大容量测试样品池 1个 LEIS探针 3根 SECM探针10um 3根 SECM探针25um 3根 SVP探针 3根 计算机 1台 二.技术参数要求 1. 扫描平台及控制系统 *定位系统：X，Y，Z轴全部采用高精度的压电马达和闭环控制系统 *光学平台：钢质蜂窝状光学平台，采用抗震技术 扫描范围(X、Y)：100mm×100mm *扫描分辨率（X、Y、Z）: 1nm 线性位移编码分辨率：50nm *最大扫速 10mm/s 最大扫描范围(Z)：100mm 支持所有轴限位开关 3D软件 *控制与分析软件：预装于高性能笔记本电脑中。平台控制与各种微区分析技术一体化集成软件，所有的分析软件在同一个界面的软件下面，包括3D软件 *计算机通讯方式：USB接口 ； 2． SECM-扫描电化学测试模块 *两台独立的电化学工作站组成的双电化学测试系统还可以单独使用进行常规电化学实验包括电化学噪声，电化学交流阻抗测试 支持2，3，4电极测试，浮地测试 最大输出电压: ± 12 V 最大输出电流：650mA 电流分辨率: 不大于120fA 极化电压: ± 10 V *电流测量精确度: ±0.2% 最小时基：2us *最大电压扫描速率：5000V/s 差分静电计带宽：〉10MHz 输入阻抗：1012//5pF 扫描探针技术包括x,y和z线、面扫描，z探针逼近曲线 *中英文界面的常规电化学测试技术包括：开路电位，线性扫描，循环伏安（单次），循环伏安（多次），阶梯线性扫描，阶梯循环伏安（单次），阶梯循环伏安（多次），计时电流法，计时电位法，计时电量法，电位脉冲法，电流脉冲法，方波伏安法，，电化学噪声,电偶腐蚀，循环极化，线性极化，塔菲尔、Rp拟合分析， 恒电 位、动电位扫描，恒电流、动电流扫描，动态IR 补偿，S软件提供强大的功能，支持用户高质量的电 化学测试，自动设置实验参数，实验结果自动设置，电流、电位、时间图示（X，Y1，Y2），全程、实时数据存储 3．LEIS-微区阻抗测试模块 频率范围：10μHz—1MHz 交流振幅范围：0.1mV-1V 电流测量精确度: ±0.2% *最小时基：2us 电位最大扫描速率：5000V/s *差分静电计带宽：〉10MHz 输入阻抗：1012//5pF 显示模式：阻抗的线扫、面扫、点频率扫描、Bode and Nyquist 探针材料: Pt/Ir针；Pt环 4． SVP-扫描振动参比电极模块 *锁相放大器 信号通路：相敏检测锁相放大器和差分静电计 频率范围：0.001Hz-250KHz 满刻度灵敏度：10nV-1V 5． SKP扫描开尔文测试模块 锁相放大器 电压输入满量程灵敏度：10nV-1V 输出时间常数：10us-100ks *共模抑制比： 100db *电流输入最小灵敏度：10fA 输入阻抗：1015欧姆 共模输入范围：±12V 振动激励器：压电陶瓷振动幅度：0-30um 6．OSP（非接触表面扫描成像系统） 1）测量范围：±10mm 2）光源：2级，650nm，0.95mW 3）重复性：0.025μm4） 斑点尺寸：50μm，参考距离为50mm 7．扫描微液滴测试模块 1）SDC顶端材料：PTFE聚四氟乙烯 2）管装材料：TYGON聚乙烯 3）参比电极： Ag/AgC