阵列微坑的固态微细电解加工工艺试验-天津大学学报.pdf

第 52 卷 第 3 期 天津大学学报 (自然科学与工程技术版) Vol. 52 No. 3 2019 年 3 月 Journal of Tianjin University (Science and Technology) Mar. 2019 DOI:10.11784/tdxbz201803088 阵列微坑的固态微细电解加工工艺试验 1, 2 1 1 1 1 1 罗 震 ，徐剑祥 ，敖三三 ，刘为东 ，李康柏 ，张 威 (1. 天津大学材料科学与工程学院，天津 300350 ； 2. 上海交通大学高新船舶与深海开发装备协同创新中心，上海 200240) 摘 要 ：针对传统微细电解加工存在的不足，提出了一种固态微细电解加工方法．使用 PEO 与 NaNO3 制备固态电 解质，其表面用热压印加工出复杂的微细形貌．研究了不同的加工电压、加工时间对于阵列微坑形貌的影响．研究 表明在直流加工电压 3,V 、加工时间 20,min 的加工参数下，在阳极表面得到了 6 行 6 列形状精度较高的阵列微坑结 构．固态微细电解加工方法提高了表面精度及加工质量，具有良好的发展前景和研究价值． 关键词 ：微细电解加工；固态电解质；阵列微坑 中图分类号：TG662 文献标志码 ：A 文章编号 ：0493-2137 (2019)03-0236-06 An Experimental Study on Solid-State Electrochemical Micromachining of Micro-Dimple Arrays 1, 2 1 1 1 1 1 Luo Zhen ，Xu Jianxiang ，Ao Sansan ，Liu Weidong ，Li Kangbai ，Zhang Wei (1.School of Materials Science and Engineering，Tianjin University ，Tianjin 300350 ，China ；2.Collaborative Innovation Center of Advanced Ship and Deep-Sea Exploration ，Shanghai Jiao Tong University ，Shanghai 200240 ，China) Abstract ：A new solid-state electrochemical micromachining (EMM) technique is proposed that overcomes the dis- advantages of conventional electrochemical micromachining. A novel solid-state electrolyte with complex micro- morphologies is produced via hot embossing ，and a specialized electrochemical processing system is developed. The effects of different voltages and p