声表面波直线型超声电机的分析.pdfVIP

巾心科学技术人学硕十论文 Y615958 致 谢 我在中国科学技术大学学习的整个过程中，得到了导师邬玉亭副教授和褚家 如教授的悉心关怀和精心指导，两位老师以他们渊博的理论知识和严谨的治学态 度，给我树立了作为一位科技工作者的榜样。我从他们身上不仅学到了从事科研 工作的理论知识和实践经验，更重要的是学到了许多做人的道理，使我终身受益。 借此机会，向两位老师表示衷心的感19}，特别感谢邬老师从学习方面到生活方面 给予的无微不至的关怀。 我所在的智能微系统研究室是一个具有浓厚的学术环境、优越的科研条件的 实验室。通过在实验室短短的三年学习，使得我对微电子系统领域的前沿工作有 了广泛的综合的认识，并做了一定的工作。感谢实验室的各位师兄弟们，给予我 很多宝贵的建议和热情的帮助。 隶经作髫、导；0两熬 钿垒文公布 中国科学技术人学硕二f：论文 第一章绪论 1．1声表面波技术简介 声表面波(简写SAw)是一种沿物体表面传播的弹性波，它能在介质表面 进行换能和传播。早在十九世纪，人们就对这种波进行了初步地研究。1885年， 英国物理学家瑞利根据对地震波的研究从理论上阐明了在各向同性固体表面上 弹性波的特性。但由于当时的科学技术水平所限，这种弹性表面波一直没有得到 实际应用。直到六十年代，由于半导体平面工艺、激光技术的发展，以及出现了 大量人造压电单晶，这为声表面波技术的发展提供了必要的技术基础和物质，使 得声表面波这门六十年代末期才发展起来的技术逐步发展成为--17新兴的、与声 学、光学和电子学等学科相结合的边缘学科。 自从英国物理学家瑞利发现的这种能量集中于地表面传播的声波以后，人们 之后，大大加速了声表面波技术的发展。 国外对声表面波技术有意识的、认真地开发和研究大约始于1967年。这一 年伦敦大学的埃立克·阿什(E．A．Ash)提出了把声表面器件作为无源器件应用 于电子技术的倡议。在1968年的IEEE超声会议上，成立了一个特邀分会，提出 了微波电磁器件的声学模拟的概念，并对它的前景作了明确的估计，从而开辟了 声学和电子学相结合的声表面波技术领域。并且就在这～年，声表面波还在技术 上取得了重大的进展。美国斯坦福大学的研究小组在L1NbO：基片上，用叉指换能 器取得了仅4dB的声电转换损耗，它使人们更清楚地看到了实际应用声表面波技 术的可能性，从而大大促进了声表面波技术的研究工作。在短短几年中，一些声 表面波器件就脱离了实验室的研究阶段而进入实际使用，并过渡到进行批量生 产，自此声表面波技术走上了迅速发展的道路。 l 自IDT诞生以来，相继出现了许多各具特色的SAW器件，主要包括滤波器、 延迟线、振荡器、声光调制器、触摸屏以及传感器。SAW器件能实现多种复杂信 号处理功能，时间带宽积大，动态范围大，并且具有体积小、重量轻、稳定可靠、 卢表面波前线型超声电机 易于大批量生产且重复性好、无需调谐、设计灵活性高，并且填补了集中参数电 子元件与微波回路工作频段之间的空隙，易于与外电路配合使用等优点，所以在 军事系统、民用消费品和商用设备中得到广泛应用。 用SAw器件研制、开发新一代传感器还是20世纪80年代的事。起初，人们 发现外界因素(如温度、压力、磁场、电场、某种气体等)对sAw传播特性会造成 影响，进而研究这些影响与外界因素的关系。根据这些函数关系，设计了各种所 需结构，用于测量各种化学的、物理的被测参数。从80年代至90年代，SAW传 感器在欧美，特别是在日本，发展十分迅速，已出现了多种类型SAW传感器。SAW 传感器具有许多独特的优点：高精度、高灵敏度；便于大批量生产：体积小、重 量轻、功耗低：结构工艺性好：可以直接将被测量要素的变化转换成频率变化等。 尽管SAW传感器的历史并不长，但由于它符合信号系统数字化、微机控制化和集 成化、高精度的发展方向，因而世界上许多国家对SAW传感器的开发研