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特气系统培训 特气系统培训 Gas Cabinet的用途 实现安全的连续的供应某种特殊气体,供机台制程使用,满足生产用气要求. 为保证供气的联系性,一般左右盘面均为独立的操作执行体. 能够在保证一边供气的前提下,另外一边实现Purge, 更换钢瓶,并直至到Standby. 等待被自动切换当另外一边气体被用完后. 可以实现跟VMB, Scrubber 等设备的联动根据客户的要求. NH3SiH4Psi---pounds per square inch 磅/平方英寸（1Mpa=145psi=10.2kg） ·无水氨气是一种刺激性、无色储存于钢瓶的液化压缩气体。其存储压力为其蒸汽压114 psi ·需避免的情况： 高温(大于426℃)，钢瓶储存温度不可高于52℃ ·比重：(空气＝1) 0.59 ·不可燃气体!但当它在空气中的浓度超过15%时有立即造成火灾及爆炸的危险 ·可自燃气体! 硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体。该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾。 其存储压力为其蒸汽压900~1100psi 。 ·如果泄放硅烷时压力过高或速度过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的硅烷如没有自燃会非常危险，不要靠近。 ·比重：（空气＝1) 1.2 ·不要用卤化物类灭火器。从最远的距离用水冷却暴露在火 焰中的钢瓶。 特气系统培训 硅烷和氨气主要在太