第9章数据处理方法.PDF

第9章数据处理方法 1. 谱图分析 2. 谱图修正 3. 谱峰拟合 4. 数值方法 9.1 、谱图分析 鉴别谱峰  数据：全谱（Survey Scan)  方法：自动/手动按照能量范围或元素  工具：标准谱图手册、数据库 化学态分析  XPS Web 数据库：/XPS/ 鉴别谱峰（按元素） 鉴别谱峰（按能量范围） 自动谱峰识别Auto-Peak ID 9.2 、谱图修正  数据平滑：Savitzky-Golay, 傅立叶滤波  本底去除：线性, Shirley, Tougaard  微分与积分  去卷积（Deconvolution ）  校正荷电位移  谱图比较/覆盖, 归一化谱图 9.2.1 、数据平滑  实验谱图中包含有测量随机噪声。  数据平滑的目的就是这些高频噪声成分而不失真地保 留原始谱图中包含的涉及峰高和峰型的所有信息。提 高谱线的信噪比。  存在两种基本的平滑方法：使用卷积平滑函数与应用 傅里叶分析的频率滤波。  常用第一种平滑方法，尤其是多点移动平滑。  最常用的卷积程序是三次/ 四次函数—Savitzky-Golay， 其次可采用高斯函数。  当平滑点数取谱图中可分辨的最窄峰的FWHM所含的 数据点数时，Savitzky-Golay函数效果最佳，失真低。 9.2.2 、本底去除  在XPS谱和AES直接谱中，通常为较小的谱峰叠加在 大的本底之上。如果要检查谱峰的细节，在某些情况 下就需要进行本底去除（如定量时测量谱峰强度时）。  最简单的本底去除方法是在用户感兴趣的谱峰两端指 定点间作直线—线性。  线性本底通常误差较大，是非物理的。  线性本底的改进涉及到的物理真实逼近— Shirly本底。 线性本底 非线性本底- Shirley Method  使用最普遍的非线性背景扣除方法  该方法认为能量损失是常数, 谱线上 任一点由非弹性散射电子引起的背景, 只来源于更高动能电子的散射, 正比 于更高动能的积分光电子强度(面积)  所以任一能量的本底都正比于光电子 能谱中具有较高能量电子的总数目。  B(x) = b+ ( a- b)Q/(P + Q) 式中：P + Q 为扣除背景后峰的总面积； Q 为动能E 以上的光电子的积分强度  k  Q h(∑y i ) −0.5(y x +y k )   i x   因为背景B(x)是未知的待求量,开始无 法计算面积P和Q, 为此首先用常数背 景B1 作为初值, 计算出P、Q后再计 算出新的背景, 如B2, 如此反复迭代, 直至收敛为止。 Smart backgroun Smart本底源自于Shirley本底，但反复调整本底位置使得 本底不跑到数据曲线之上。这尤其适用于有较宽能量范 围的双线谱峰定量。 Shirley background Smart background 9.2.3 、微分谱(Derivative Spectrum)  微分谱提供了一种在某 些情况下简单快速地确 定峰位的有用方法。  二次微分谱的负峰位近 似对应于原始谱中重叠 峰的位置。 9.2.4 、荷电校正方法 在实际的XPS分析中，一般采用外标法或内标法进 行荷电位移校正。  外标法：在实验条件下，根据试样表面吸附或沉 积元素谱线的结合能，测出表面荷电电势，然后 确定其它元素的结合能。  碳外标：用真空系统中最常见的外来污染碳氢化合物中 碳的C 1s的结合能作为参考，常用284.6 eV至285.0eV作 为参考结合能。近年来284.8 eV较为流行。  以测得的C1s谱线的结合能与参考值之差为荷电校正值∆，来校正 谱图中其它谱峰的测量结合能值。  尽管外来污染碳作静电荷电校正存在局限性和不确定性，