1薄膜制备的真空技术基础.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * 薄膜制备的真空技术基础 * 1.3.6 溅射离子泵★ 工作原理： 高压阴极发射出的高速电子与残余气体分子碰撞引起电离放电，电离的气体分子高速撞击Ti阴极溅射出大量Ti原子。活性很高的Ti原子以吸附或化学反应的形式捕获大量气体分子并使其在泵体内沉积下来，实现无油高真空环境。 特点：气体活性大，抽速大；寿命有限。 极限真空度：10-8 Pa。 Ti升华泵 薄膜制备的真空技术基础 * ★ ★ ★ Back 薄膜制备的真空技术基础 * 1.4 真空的测量 真空测量：用特定的仪器和装置，对某一特定空间内真空高低的测定。（真空计、规管） 绝对真空计：通过测定物理参数直接获得气体压强的真空计（U型真空计、压缩式真空计等） 特点：测量比较准确，气压低时测量极其困难 相对真空计：通过测量与压强有关的物理量，并与绝对真空计比较后得到压强值的真空计（放电真空计、热传导真空计、电离真空计等） 特点：准确度略差，可测量低气压 薄膜制备的真空技术基础 * 由仪器测出的真空度与真空室的实际真空度 之间可能会由于温度不同而存在误差。 在分子流状态，而且真空室与测量点之间存 在较细的管道连接时，测量压力pm和实际压力 pc之间的关系将可由分子净通量为零的条件得 出： Tc、Tm — 真空室和测量点处气体温度