淡江大学机械与机电工程学系毕业专题微小化共路径雷射光学尺之.doc

淡江大學機械與機電工程學系 畢業專題 微小化共路徑雷射光學尺之設計 Miniaturized Design of Common-path Laser Encoder 陳彥佐 Yan-Zou Chen 指導教授： 吳 乾 埼　博士 Chyan-Chyi Wu, Ph.D 中華民國101年1月 PAGE i 目錄 TOC \o 1-3 \h \z \u 目錄 i 摘要 1 一、諸論 2 1.1研究動機 2 1.2研究目的 2 二、原理與方法 2 2.1 系統架構 2 2.2 干涉光路[ 1] 3 三、實驗結果 6 3.1 工程圖 6 3.2 元件規格 6 3.3 LightTools分析模型 7 四、結論 8 五、參考文獻 9 PAGE 9 摘要 現今科技的進步，物件尺寸不斷縮小，使得量測精度的要求必須愈來愈高。市面上，有許多量測儀器，其中，雷射光學尺可提供奈米級的位移量測。習用的雷射光學尺光學頭之設計其架構主要以麥克森干涉儀型式，但架構較複雜，需要使用較多的光學元件來組裝，造成光學頭外型尺寸有一定的限制。 因此，本專題將提出基於共路徑雷射光學尺架構，利用LightTools光學軟體設計出尺寸大小為3cm×3cm×3cm的光學頭系統。共路徑雷射光學尺本身架構簡單，且相較於其他雷射光學尺架構，具有有效排除環境擾動的影響，進而提高量測的穩定性與準確性的特性。由於本專題所提出的光學尺系統受限於尺寸大小的限制，因此雷射光源沒有使用常見的氦氖雷射，而是使用雷射二極體作為發光源。本系統架構主要包含雷射二極體光源、擴束系統以及共路徑光路系統所形成的光學頭結構。此外，為了可以有效地利用空間，光學元件間的擺設是採用立體方式而非平面擺設。一、諸論 1.1研究動機 目前市面上光學尺的光學頭是利用各公司自行研發的光學架構所設計出的，光學頭的尺寸也相差不多。為了可以將光學頭的尺寸有進一步的突破，本專題將研發尺寸大小只有3cm×3cm×3cm的光學頭之設計，除了達到微小化與輕量化的目標外，希望可以為將來微小化光學頭設計有進一步的發展。 1.2研究目的 本專題提出基於共路徑雷射光學尺，利用LightTools光學軟體設計出尺寸大小為3cm×3cm×3cm左右的光學頭內部光學架構。 二、原理與方法 2.1 系統架構 REF _Ref313575522 \h 圖 1為微小化共路徑光學尺光學頭的架構圖，雷射先經過直角稜鏡(RAP1)將光束轉折至由兩個平凹透鏡(L1、L2)和一個平凸透鏡(L3)所組成的擴束系統進行擴束，再經過直角稜鏡(RAP2)轉折至平凸透鏡(L4)聚焦於反射光柵(Grating)，藉由光柵繞射特性使得雷射的0階繞射與+1階繞射重疊，產生干涉條紋，再經過另一個平凸透鏡(L5)使得干涉光束平行，然後經由直角稜鏡(RAP3)轉折至分光鏡(PB)後會分成兩道光路，利用光偵測器(D1、D2)接收量測訊號。 PD1PD2PB PD1 PD2 PB G RAP1 RAP3 L1 RAP2 L2 L3 L4 L5 LDS RAP1：Right Angle Prisms 1 RAP2：Right Angle Prisms 2 RAP3：Right Angle Prisms 3 L1：Plano-Concave spherical lens 1 L2：Plano-Concave spherical lens 2 L3：Plano-Convex spherical lens 3 L4：Plano-Convex spherical lens 4 L5：Plano-Convex spherical lens 5 PD1：Photo detectors 1 PD2：Photo detectors 2 圖 SEQ 圖 \* ARABIC 1微小化共路徑雷射光學尺之光學頭設計示意圖 2.2 干涉光路 REF _Ref313580500 \h [ 1] 圖 SEQ 圖 \* ARABIC 2光路繞射圖形 共路徑繞射原理是讓擴束後雷射經透鏡聚焦於光柵後，使0階和+1階繞射光在完全相通的空間以及方向上產生干涉的效果( REF _Ref313575558 \h 圖 2)，將入射的雷射光束看成一個圓錐光束，其最大的入射角和最小入射角為θM、θm，在繞射之後，其繞射方程式為 , ( SEQ ( \* ARABIC 1) θd為反射角，θi為入射角，n為繞射階數，λ為波長，d為光柵週期（grating period），假設θi的最小角度為θm帶入 REF _Ref281164101 \h (1)式為 , ( SEQ ( \*