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KX170 设备说明书设备说明书
设备设备说明书说明书
11 设备设备通用技术条件通用技术条件
11 设备设备通用技术条件通用技术条件
1.1 所有管道均标示流向和流体介质。
1.2 按照 210Kg投料量设计籽晶提升和坩埚提升装置。
1.3 配置冷却套筒。
1.4 配置电动热屏提升装置。
1.5 控制系统内不包括 UPS 电源，但要求客户必须配置。
1.6 KICCS-Kayex 智能晶体生长控制系统。
KX170 机械说明书（B ） 2/21 Kayex 机密
KX170 设备说明书设备说明书
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2 物理和物理和性能性能规格规格
物理和物理和性能性能规格规格
系统属性和主要组件
所有单晶炉室均由 304L 不锈钢制作而成，采用双层水冷夹套结构。炉
体的所有焊接处都经过缺陷检查和探伤检验，并通过水压试验和氦质谱
检漏仪检漏。请参见第 6 章的图纸。
2.1.12.1.1 底板 底板
2.1.12.1.1 底板底板
单晶炉的炉底板设计成平板式，中间的通孔用于坩埚轴的安装，并配有
排气孔两个，压力传感器通气孔一个，电极安装通孔六个。
电极（6 个）
电极孔直径： 75.5mm（2.97″ ）
电极材料： 紫铜，水冷
排气孔直径（2 个）： 81.79mm（3.22″ ）
中心孔径： 127mm（5.00″ ）
2.1.22.1.2 主炉室主炉室
2.1.22.1.2 主炉主炉室室
主炉室是一个两端敞开并带法兰接头的筒状结构。其上配有一个用于测
量加热器温度的高温计接口。主炉室内壁无任何突出部分。
主炉室内径： 1040mm（40.94″ ）
主炉室高度： 985mm（38.78″ ）
高温计接口位置： 炉底板上方 697mm（27.4″ ）
2.1.32.1.3 炉盖 炉盖
2.1.32.1.3 炉盖炉盖
炉盖为穹状结构，为主炉室和副炉室之间提供了一个过渡区。炉盖的喉
口部两侧分别设置有氩气接口。炉盖喉口直径 14″ [355mm]。炉盖下法
兰外周上设置有用来引导泄露气体向下流动的裙边。（这种结构通常于
替换安装炉室夹具）
KX170 机械说明书（B ） 3/21 Kayex 机密
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内径： 1040mm（40.94″ ）
相机窗口： 64mm×153mm
操作者观察窗口： 64mm×279mm
加料孔直径：
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