半导体制程技术-联合大学.pdf

半導體製程技術 半導體製程技術 Introduction to Semiconductor Process Technology Introduction to Semiconductor Process Technology 許正興 許正興 國立聯合大學電機工程學系 國立聯合大學電機工程學系  Introduction to fabricated Integrated Circuits  Semiconductor Material and Device  Oxidation and Diffusion  Lithographic technology  Ion Implementation  Etch Technology  Thin Film Technology  CMP Technology  Process Integration  CMOS Process 何謂半導體 ？  以通俗的字眼來說便是一種材料它的導電度介於金屬 與非金屬之間。  以專業的眼光來看便是該材料的電阻值可藉由摻入雜 質的種類 、數量來調整 。 雜質種類的不同將可以決定載子 （carrier)的型態 。當 有特定區域適合這兩種型態的載子相互結合時 ，電子 元件的種種特性便接踵而來。 週期表 與半導體相關之週期元素 單原子的軌道示意圖與能帶 價殼層 導帶, Ec 原子核 能隙 , E g 價帶 , Ev 能帶 、能隙 和電阻係數 E = 1.1 eV E = 8 eV g g 鋁 鈉 二氧化矽 2.7 μcm 4.7 μcm 矽 ~ 1010 μcm 1020 μcm 導體 半導體 絕緣體 絕緣體 、半導體、金屬之電阻比較 半導體之分類  Elemental semiconductor--Si, Ge  Compound semiconductor  IV-IVSiC  III-VAlP,AlAs,GaAs,GaSb,InP,InAs,  II-VI ZnO,ZnS,ZnSe,CdTe,HgTe  IV-VIPbS, PbSe, PbTe  Alloys  BinarySi1-xGex  TenaryAlGaAs,AlInAs,HgCdTe  QuaternaryAlGaAsSb 半導體分類  基本上以週期表的第四族為基準點 ，其共通特性是每一 原子平均有四個價電子 