毕业论文--基于PLC半导体湿法洗净设备温度控制系统设计.docxVIP

基于PLC半导体湿法设备温度控制系统设计 毕业设计（论文） 毕业设计（论文）题目： 分校（点）： 年级、专业： 教育层次： 学生姓名： 学 号： 指导教师： 完成日期： 目录 第一章 前言 1.1课题研究背景 1.2温度控制系统的发展状况 第二章 可编程控制器的概述 2.1可编程控制器的产生 2.2可编程控制的基本组成 第三章硬件配置和软件环境 3.1实验配置 3.2传感器 第四章控制算法描述 4.1 PWM技术 4.2PID控制程序设计 第五章 程序设计 5.1方案设计思路 第六章 结论 致谢 参考文献 前 言 1.1课题研究背景 在半导体湿法设备中，其中温度控制是非常重要的一个参数，也是一个非常重要的变量之一。温度的检测对人类日常生活、工业生产、等都起着极其重要的作用。对于不同生产和工艺要求的温度控制，在许多场合，及时准确获得温度信息是十分重要的，近年来，温度测控领域发展迅速，温度的测控芯片也在快速发展，能够在军工、航天、工业、农业等各领域中广泛使用。 可编程控制器PLC(Programmable Logic Controller)是一种工业控制计算机，自动控制技术，通信技术为一体的新型自动控制装置。它具有可靠性强，抗干扰能力强，价格便宜，易学易用，编程简单等特点。在工业领域中深受操作人员的青睐，因此PLC在当今世界工业控制的各个领域中被广泛使用。 组态王开发监控软件是指一些数据采集与过程控制的专用软件，它们是在自动控制系统监控层一级的软件平台和开发环境，使用灵活的组态方式，为用户提供快速构建工业自动控制系统监控功能的软件工具。在组态概念出现之前，都是通过编写程序来实现的。编写程序不但周期长、工作量，而且容易出现错误，。组态软件的出现，彻底解决了这个问题。对于过去需要几个星期，几个月的工作，通过组态王软件几天就可以完成，组态王软件是国内一家较有影响力的公司开发的，组态王具有流程画面，报警窗口，过程数据记录，实时趋势，可快速生产生产报表等功能。它具有丰富的设备驱动程序、数据连接功能。 1.2温度控制系统的发展状况 温度控制系统在工业、农业，生产中获得了广泛地应用，在工农业生产、科研、国防、等领域占有重要的地位。温度控制系统是人类供热的主要设备的驱动来源，它的出现迄今已有百余年的历史。期间，从低级到高级，从模糊到精确，从简单到复杂，随着生产力的发展对温度控制精度要求的越来越高，温度控制系统的控制技术得到快速的发展。 单片机的发展历史虽不长，但它凭着体积小，成本低，功能强大和可靠性高等特点，已经在许多领域得到了广泛地应用。单片机已经由开始的4位机发展到32位机，其性能进一步得到改善。基于单片机的温度控制系统运行稳定，工作精度高。但相对其他温度系统而言，单片机响应速度慢、中断源少，不利于在复杂的，高要求的系统中使用。当今比较流行温度控制，单片机的温度控制，工控机的温度控制系统，PLC的温度控制系统，现场总线控制系统等。 PLC是一种数字控制专用电子计算机，它使用了可编程序存储器储存指令，执行诸如逻辑、顺序、计时、计数与演练等功能，并通过模拟和数字输入、输出等组件，控制各种机械或工作程序。PLC可靠性高、抗干扰能力强、编程简单，易于被工程人员掌握和使用，目前在工业领域上被广泛应用。 工控机（IPC）即工业用计算机。IPC的性能可靠、价格低廉，软件丰富，应用日趋广泛并被使用。它能够适应多种工农业，国防等恶劣环境，抗高温、抗振动，防电磁辐射。以前半导体湿法设备温控是PID为基础的常规仪表控制，一般很难达到想要的满意结果，原因是湿法刻蚀对温度、时间的控制精度的要求比较高。而计算机提供了诸如数字滤波，选择性PID，积分分离PID。参数自整定等各种功能，以及“模糊判断”功能，是常规仪表和人工难以实现的。在湿法设备温度检测控制系统中采用