电子束与材料的相互作用.pptVIP

入射电子与原子的相互作用产生的各种信息 O入射电子 ●原子中的核外电子或二次电子 3.1 散射 当一束聚焦电子沿一定方向射到固体上时，在固体原子的库仑电场作用下，入射电子方向将发生改变，这种现象称为（电子）散射。 有弹性散射和非弹性散射之分。 原子中的原子核和核外电子对入射电子均有散射作用。 图3-1 电子散射示意图 （a）与原子核作用；（b）与核外电子作用 3.1.1 原子核对入射电子的散射 有弹性散射和非弹性散射。 散射损失的能量 散射角（2?）即散射电子运动方向与入射方向之间的夹角。 非弹性散射损失的能量?E转化为X射线，它们之间的关系是 式中，h是普朗克常数，c是光速，?及?分别是X射线的频率与波长。 3.1.2 核外电子对入射电子的散射 原子中核外电子对入射电子的散射作用是一种非弹性散射。 在非弹性散射过程中，入射电子所损失的能量部分转变为热，部分使物质产生各种激发现象（如，原子电离、自由载流子、二次电子、俄歇电子、特征X射线、特征能量损失电子、阴极发光、电子感生电导等）。 因为这些激发现象都是入射电子作用的结果，所以称为电子激发。 3.3.3 散射截面 入射电子被原子核散射时，散射角2?的大小与瞄准距离（电子入射方向与原子核的距离）rn、原子核电荷Ze以及入射电子的加速电压V有关，其关系为