净化级别划分和规定.doc

净化级别划分和规定 行业标准(洁净级别的划分和规定)? ? ■?美国联邦标准（USA Federal Standard）空气中微粒的洁净等级对照空气微粒洁净等级 （每立方米，每立方英尺）微粒的最大浓度限值 ISO14644-1 FED STD 209E CLASS Number of Par Cubic Meter by Micrometer Size ISO Class English Metric ? 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 0.5um 5um ? ? ? ? m3 m3 m3 ft3 m3 ? 1 ? ? ISO1 ? ? ? ? ? ? 2 ? ? ISO2 ? ? ? ? 4 ? 3 1 M1.5 1SO3 ? ? ? ? 35 ? 4 10 M2.5 ISO4 ? ? ? 10 353 ? 5(百级) 100 M3.5 ISO5 ? ? ? 100 3,530 29 6(千级) 1,000 M4.5 ISO6 ? ? ? 1000 35,300 293 7(万级) 10,000 M5.5 ISO7 ? ? ? 10000 353,000 2,930 8(十万级) 100,000 M6.5 ISO8 ? ? ? 100000 3,530,000 29,300 9 ? ? ISO9 ? ? ? 1000000 35,300,000 293,000