国家标准氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法征求.doc

PAGE1 / NUMPAGES12 《氮化镓单晶衬底片X射线双晶摇摆曲线半高宽 测试方法》（送审稿）编制说明 2014年5月20日 目录 TOC \o 1-2 \h \z \u 1. 工作简况 3 1.1. 任务来源 3 1.2. 编制和协作单位 3 1.3. 主要工作过程 4 1.4. 标准主要起草人及其所做的工作 4 2. 标准编制原则和确定标准主要内容的论据 5 2.1. 第1章 范围 5 2.2. 第2章 规范性引用文件 5 2.3. 第3章 术语和定义 6 2.4. 第4章 方法提要 6 2.5. 第5章 仪器设备 6 2.6. 第6章 干扰因素 8 2.7. 第7章 测试步骤 9 3. 主要试验或验证的分析、综述 11 4. 与我国有关的现行法律、法规和相关强制性标准的关系 11 5. 重大分歧意见的处理经过和依据 11 6. 标准作为强制性标准或推荐性标准、指导性技术文件的建议及其理由；密级确定的建议及其理由 11 7. 贯彻标准的要求和措施建议 12 8. 代替或废止现行有关标准的建议 12 9. 参考文献目录 12  工作简况 任务来源 氮化镓材料被誉为是第三代半导体材料，在微电子器件、光电子器件等方面拥有广阔的应用前景。氮化镓单晶材料是氮化镓生长的最理想的衬底，对提高外延膜的晶体质量，降低位错密度，提高器件效率，