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目录 目录 研究前言 1 (一) 报告目的(Objective of Report) 1 (二) 研究范围(Research Scope) 4 (三) 研究区域(Survey Region) 8 (四) 数据来源(Data Source) 9 (五) 研究方法(Research Approaches) 10 (六) 一般定义(General Definition) 10 (七) 市场定义(Market Definition of CCID) 12 (八) 特别说明(Specification) 13 (九) 研究对象(Research Object) 一、2002年中国半导体设备市场环境综述 14 (一) 半导体设备分类与技术发展现状 16 (二) 世界半导体设备市场概况 19 (三) 中国半导体设备产业及市场环境 19 1、产业环境 21 2、市场环境 二、2002年中国半导体设备产业现状分析 24 (一) 中国半导体设备的现状 29 (二) 国内各主要半导体设备生产情况 29 1、材料制备设备 31 2、前工序设备 33 3、后工序设备 34 4、其他设备 36 (三) 国内主要半导体设备生产厂家 36 1、西安理工大学晶体生长设备研究所 37 2、中国电子科技集团第四十五研究所 38 3、中国电子科技集团第四十八所 40 4、北京七星华创电子股份公司 42 5、北京北