电镜的成像原理范小龙.pptVIP

只做学术交流之用，请勿做商业用途，转载请说明出处！扫描电镜的成像原理与具体测试时的基本常识 范小龙 报告结构 扫描电镜的成像原理 简单介绍电镜的使用情况 观察样品前的准备工作 正式观察样品时注意的几个问题 总结 报告结构 扫描电镜的成像原理 简单介绍电镜的使用情况 观察样品前的准备工作 正式观察样品时注意的几个问题 总结 报告结构 扫描电镜的成像原理 简单介绍电镜的使用情况 观察样品前的准备工作 正式观察样品时注意的几个问题 总结 报告结构 扫描电镜的成像原理 简单介绍电镜的使用情况 观察样品前的准备工作 观察样品时需要注意的几个问题 总结 第一部分：扫描电镜的成像原理 电子束与固体的相互作用 右图为在0到E0范围内测量样品发射所有电子的能量分布的，其中E0为入射电子的能量。 三个区间： 弹性散射（背散射电子） 非弹性散射对电子能量的吸收 二次电子的发射（E50 eV） 二次电子的产生 二次电子的产生：高能束电子与弱结合的导带电子相互作用的结果。这种相互作用的过程只造成几个电子伏的能量转移给导带电子。 二次电子从固体表面的逃逸几率： λ为二次电子的平均自由程，对于金属约为1 nm，对于绝缘体则为10 nm。 二次电子怎样来反映样品表面信息 基于刚才提出的假设，在入射电子束相同的情况下，二次电子的产量随样品形貌的变化是： 各种情况小结 扫描电镜的最终成像 立体逼真的扫