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第卷第期硅酸盐学报年月籽晶层辅助的高性能薄膜的低温制备万冬云李应成郭贝贝丁卓翰罗宏杰高彦峰上海大学材料科学与工程学院上海摘要采用磁控溅射法以为溅射靶材在硅和石英基底上制备出纯晶相相和相薄膜借助衬底上籽晶层的辅助将薄膜沉积过程中同时进行的成核与生长过程分离成个独立的阶段通过籽晶层辅助生长可有效地降低了薄膜的制备温度在低至仍可制备出热敏性能较好的相薄膜并且在实现了具有一定结晶度的薄膜的制备进一步延长了低温籽晶层辅助的薄膜的退火时间薄膜逐渐向相转变可期望实现智能窗和光控开关器件中的良好应用关键词磁控溅
第45 卷第1 期 硅 酸 盐 学 报 Vol. 45 ，No. 1
2 0 1 7 年 1 月 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY January ，2017
DOI ：10.14062/j.issn.0454-5648.201
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