奈米定位与量测技术压电致动器－摩擦滞滑指导教授.ppt

奈米定位與量測技術 壓電致動器－摩擦滯滑 指導教授：朱志良 博士 班 級：碩奈米一甲 學 號：MA0R0201 學 生：許博淳 Southern Taiwan University 大綱 壓電致動器類型 發展歷史 滯滑摩擦驅動原理 滯滑摩擦機構之設計 滯滑摩擦驅動之應用 結論 參考文獻 * * Southern Taiwan University 壓電致動器類型 滯滑摩擦產生的摩擦驅動平台 利用夾持力的尺蠖蟲定位 利用撓性結構之形變式平台 * * Southern Taiwan University 1986 - Pohl 　　利用慣性力與摩擦力搭配驅動，已鋸齒波形輸入壓電致動器來驅動平台移動。 1987 - Niedermann 　　以相同原理，利用壓電薄板於施加電壓下產生材料剪力變形的方式來做為致動器，並採以滯滑摩擦原理方式驅動平台移動。 發展歷史(一) * * Southern Taiwan University 1989 – Renner et al. 利用相同原理發展一垂直定位機構，將壓電致動器的驅動輸入波形以擺線波型代替原來的鋸齒波型來驅動壓電原件。 1993 - Curtis 利用滯滑現象及順序挾持的原理，開發出一具有單步位移30~400 nm 最大平均速度0.14 mm/s的定位機構。 發展歷史(二) * * Southern Taiwan University 1994 – Smith 　　利用輸入電壓驅動壓電致動器後所產生的脈衝能量使壓電原件推動平台。 1999 - Chang 、Li 利用摩擦滯滑原理，設計出一配合Scott-Russel 機構， 單步位移0.05~120 μm，最大速度2.5 mm/s 之定位平台。 發展歷史(三) * * Southern Taiwan University 當外部電壓訊號緩慢上升的過程並對致動器做輸入。 此時利用導引機構與滑台間的摩擦力，使滑台向前移。 當訊號迅速下降時，藉由慣性力大於摩擦力的原理。 壓電致動器回到初始位置。 而滑台因慣性的關係停留在原處。 如此一來便能完成長行程逐步位移。 * 滯滑摩擦驅動原理 * Southern Taiwan University 滯滑摩擦驅動原理 * * Southern Taiwan University 於基座上以緊配合方式安裝兩只精密硬鉻圓棒。 Ａ動作視為滑台直線運動之導引機構。 將微步直線定位裝置固定於基座上。 滑台端利用加工將其製造為V型槽，並與圓棒保持接觸。 利用預壓彈簧與調整螺絲微調，精密硬鉻圓棒與滑塊V溝保持在最大靜摩擦力。 輸入外部電壓訊號控制搭配滯滑摩擦方式驅動。 滯滑摩擦機構之設計 * * Southern Taiwan University 滯滑摩擦機構之設計 * * Southern Taiwan University 滯滑摩擦驅動之應用 在10 ~100奈米尺度間的研究，部份須使用較長行程的平台來移動試件，學研單位一般需要較精密級的位移機構，其應用如： IC步進機 超精密級加工機 奈米三次量測儀 晶片步進機 * * Southern Taiwan University 結論 * 透過微接觸統計分析，滯滑現象的特徵尺度可以準確地計算出來。 比較力分量峰值的波長和相對強度的滑移距離，我們可以發現微接觸的分析和粗糙度相關的滯滑現象有其相關性。 力分量峰值的特徵波長即代表接觸現象中的主控粗糙尺度，此主控粗操尺度為影響滯滑現象中滑移距離的主因。 也就是說以探針的角度來看，試片表面形貌因接觸變形而呈現某些特徵波長的外型，造成在這些特徵波長發生滯滑現象的機率相對高 。 * Southern Taiwan University 參考文獻 A.Bergander and J.-M. Breguet，Performance Improvements for Stick-Slip Positioners，ME 3, Chemin des Machines, CH-1015 Lausanne, Switzerland 林宗億，壓電雙晶片應用於曲線機構之分析研究，私立中原大學碩士學位論文。 張所鋐,李昇憲，”新式高精