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常见精密加工与超精密加工方法、精度与应用来源： 作者： 时间：2008-05-04 Tag： 点击： 90 分类加工方法加工刀具精度/μm表面粗糙度Ra/μm被加工材料应 用 刀具切削加工切削精密、超精密车削天然单晶金刚石刀具、人造聚晶金刚石刀具、立方氮化硼刀具、陶瓷刀具、硬质合金刀具1～0.10.05～0.008金刚石刀具、有色金属及其合金等软材料，其他材料刀具，各种材料球、磁盘、反射镜 精密、超精密铣削多面棱体 精密、超精密镗削活塞销孔 微孔钻削硬质合金钻头，高速钢钻头20～100.2低碳钢、铜、铝、石墨、塑料印刷线路板、石墨模具、喷嘴 磨料加工磨削精密、超精密砂轮磨削氧化铝、碳化硅、立方氮化硼、金刚石等磨料砂轮5～0.50.05～0.008黑色金属、硬脆材料、非金属材料外圆、孔、平面 精密、超精密砂带磨砂带平面、外圆磁盘、磁头 研磨精密、超精密研磨铸铁、硬木、塑料等研具，氧化铝、碳化硅、金刚石等磨料1～0.10.025～0.008黑色金属、硬脆材料、非金属材料外圆、孔、平面 油石研磨氧化铝油石、玛瑙油石、电铸金刚石油石平面 磁性研磨磁性磨料10～10.01黑色金属外圆 去毛刺 滚动研磨固结磨料、游离磨料、化学或电解作用液体黑色金属等型腔 抛光精密、超精密抛光抛光器 氧化铝、氧化铬等磨料1～0.10.025～0.008黑色金属、铝合金外圆、孔、平面 弹性发射加工聚氨酯球抛光器、高压抛光液0.1～0.0010.025～0.008黑色金属、非金属材料平面、型面 液体动力抛光带有楔槽工作表面的抛光器 抛光液0.1～0.010.025～0.008黑色金属、非金属材料、有色金属平面、圆柱面 水合抛光聚氨酯抛光器 抛光液0.1～0.10.01黑色金属、非金属材料平面 磁流体抛光非磁性磨料 磁流体0.1～0.10.01黑色金属、非金属材料、有色金属平面 挤压研抛粘弹性物质 磨料50.01黑色金属等型面、型腔去毛刺、倒棱 喷射加工磨料 液体50.01～0.02黑色金属等孔、型腔 砂带研抛砂带 接触轮1～0.10.01～0.008黑色金属、非金属材料、有色金属外圆、孔、平面、型面 超精研抛研具(脱脂木材，细毛毡)、磨料、纯水1～0.10.01～0.008黑色金属、非金属材料、有色金属平面 超精加工精密超精加工磨条 磨削液1～0.10.025～0.01黑色金属等外圆 珩磨精密珩磨磨条 磨削液1～0.10.025～0.01黑色金属等孔 特种加工电火花加工电火花成形加工成形电极，脉冲电源、煤油、去离子水50～12.5～0.02导电金属型腔模 电火线切割加工钼丝、铜丝、脉冲电源、煤油、去离子水20～32.5～0.16冲模、样板(切断开槽) 电化学加工电解加工工具极(铜、不锈钢)电解液100～31.25～0.06导电金属型孔、型面、型腔 电铸导电原模 电铸溶液10.02～0.012金属成形小零件 化学加工蚀刻掩模板、光敏抗蚀剂、离子束装置、电子束装置0.12.5～0.2金属、非金属、半导体刻线、图形 化学铣削刻形、光学腐蚀溶液、耐腐蚀涂料20～102.5～0.2黑色金属、有色金属等下料、成形加工(如印刷线路板) 超声加工超声波发生器、换能器、变幅杆、工具30～52.5～0.04任何硬脆金属和非金属型孔、型腔 微波加工针状电极(钢丝、铱丝)、波导管106.3～0.12绝缘材料、半导体打孔 红外光加工红外光发生器106.3～0.12任何材料打孔、切割 电子束加工电子枪、真空系统、加工装置(工作台)10～16.3～0.12任何材料微孔、镀膜、焊接、蚀刻 离子束加工离子束去除加工离子枪、真空系统、加工装置(工作台)0.01～0.0010.02～0.01任何材料成形表面、刃磨、蚀刻 离子束附着加工1～0.10.02～0.01镀膜 离子束结合加工　　注入、掺杂 激光束加工激光器、加工装置(工作台)10～16.3～0.12任何材料打孔、切割、焊接、热处理 复合加工电解精密电解磨削工具极、电解液、砂轮20～10.08～0.01导电黑色金属、硬质合金轧辊、刀具刃磨 精密电解研磨工具极、电解液、磨料1～0.10.025～0.008平面、外圆、孔 精密电解抛光工具极、电解液、磨料10～10.05～0.008导电金属平面、外圆、孔、型面 超声精密超声车削超声波发生器、换能器、变幅杆、车刀5～10.1～0.01难加工材料外圆、孔、端面、型面 精密超声磨削超声波发生器、换能器、变幅杆、砂轮3～10.1～0.01外圆、孔、端面 精密超声研磨超声波发生器、换能器、变幅杆、研磨剂研具1～0.10.025～0.008黑色金属等硬脆材料外圆、孔、平面 化学机械化学研磨研具、磨料、化学活化研磨剂0.1～0.010.025～0.008黑色金属、非金属材料外圆、孔、平面、型面 机械化学抛光抛