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目录
硅材料制备及工艺 1. 概述
2. 多晶硅介绍
陈秀华 3. 多晶硅生产工艺
4. 多晶硅生产现状及发展趋势
5. 太阳能级硅材料加工工艺流程
1 2
1
1. 概述 1.2 我国能源储量与世界比较
1.1 太阳能发电在全球未来能源结构中扮演重要地位
3 4
1.3 硅材料产业架构
1.4 硅
半导体金属之一,可制成发光体、热的不良导体、芯片
熔点为1412℃比大多数金属的熔点高,密度为2.34g/cm3
地壳中的含量27%,仅次于氧的含量。
自然界不存在单体硅,多呈氧化物或硅酸盐状态(石英或硅石)。
石英石 工业级硅(97-99%) 多晶硅 拉晶 晶体力学性能优越,易于实现产业化。
(sio2 ) 太阳能级多晶硅
99.999~99.9999%
半导体多晶硅 在高温下化学性质活泼,能与许多元素化合。
99.999999%~99.9999999%
在常温下它的化学性质稳定
硅是IV族元素,有4个价电子;具有金刚石立方晶格结构。
半导体用3-12“Wafer
硅对人类生活方式的变革是地球上其他任何一种元素都难以比拟
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