砷化镓制程专用无尘氮气柜CM8180.ppt

抛光片、外延片、芯片专用无尘氮气柜 CM8180 博士门– 上海宝品 HTTP//：WWW.BOSSMEN.COM 周新 TEL：021*804 外延片制程中无尘氮气柜的使用阶段 1.抛光片镀膜充热氮烘干后 （此阶段属于回温过程，需要一个稳定安全干燥的环境）主要作用在于回温或环境温度变化过程中,制品须保持在安全干燥的环境中 ■2.成品完成检验包装前 （此时刚完工的外延片都处于待检状态，而它的存放除了需要一个稳定安全干燥的环境外，更要考虑其存放环境的洁净度以及静电的问题）主要作用在于产品出厂出货后不产生返雾或粉尘颗粒超标状况 需求条件 洁净度需达到Class 10. 柜内静电需达到1 KV以下. 氮气节能效果 CM1001柜体规格 柜体尺寸：W1250mm*H2450mm*D850mm 层板数：5片 柜内容积：1,510L 柜体材质：SUS 430 总耗电量：170w 洁净功能 柜内粉尘透过柜体后方回风系统搭配美国进口超高效过滤网，反复循环过滤，柜内洁净等