精密微调器实现二轴联动系统精度增长的研究.docVIP

机械科学与技术 精密微调器实现二轴联动系统精度增长的研究 许吉敏，张飞，卫洋洋，陈润霖，袁小阳* 西安交通大学现代设计与轴承转子教育部重点实验室, 西安 710049 摘 要:控制系统的改进和摩擦副优化设计对先进二轴联动系统精度的提升效果有限。本文提出通过引入精密微调器与已有的二轴系统实现功能并联，在不干扰已有系统可靠性和大范围运动功能的前提下，实现小范围内运动精度的成倍增长。针对两轴垂直和两轴平行的两类二轴联动系统，分别提出了压电晶体型角度微调器以实现角度精度的增长、电磁液型位移微调器以实现位移精度的增长，分析了它们的工作原理和作用效果。原理实验和分析结果表明本文提出的精度增长方法能够满足工程预期目标。 关键词:二轴联动系统；精密微调器；精度增长 中图分类号: TH122；TH133 文献标识码: A Precision growth of two-axis linkage system realized by precise fine-adjustor Xu Jimin, Zhang Fei, Wei Yangyang, Chen Runlin, Yuan Xiaoyang* Key Laboratory of Education Ministry for Modern Design and Rotor-Bearing System, Xi’an Jiaoto