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* 厂区平面示意图（5-1） 图5-1 某电厂厂区平面布置示意图 * 物料平衡示意图（5-2） * 物料平衡示意图（5-3） * 水平衡示意图（5-4） * 污水流向示意图 备注：9#线：生活污水管线 10#线：清净下水管道 11#线：工业废水管线 青肯泡 5-6月及7-8月排放至肇兰新河 循环水 11#线 10#线 9#线 肇兰 新河 废水预处理 苯 乙 烯 聚苯 乙烯 A B S 斜板隔油 三期污 水处理厂 泵 房 厌氧池 兼氧池 公用设施 脱盐水站 办公楼 图5-5 某石化厂部分设施污水处理流向示意图 * 工艺流程示意图（5-7） 附图5-7 某集成芯片生产线工艺流程示意图 外来研磨后的硅片 清洗 氧化 光刻 显影 湿法、干法刻蚀 去胶 扩散 离子注入 送出厂进行进一步加工 CVD 金属化 CMP 涂胶（匀胶） 背面减薄 * 工艺流程示意图（5-8） 图5-8 某调峰电厂生产工艺流程见示意图 排气筒 油 黄浦江 凝结器 净化 系统 含油 污水 净化 油箱 过滤器 蒸汽 发生器 燃机 给水泵 除氧器 化学 除盐水 凝结水系 汽轮机 发电机 （简单循环） 空气 风门 发电机 * 污水处理工艺示意图（5-9） 混合吸水池 匀质池 提升泵 生物 过滤池 溶气 浮选 外运 填埋 污泥脱水 污泥浓缩 生化塔 生化泵 沉淀池 沉砂池 事故池