反射谱仪导管需求表.ppt

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第二shutter设计之调节系统 底部的竖直和水平调节机构,配合壳体顶部的靶标座把设备准直到束线的精度。 内部插件的前后端有六点定位螺钉,使壳体和内部导管同轴化。 螺钉的调节精度可以达到0.02mm(参考导管公司) 第二shutter设计之控制系统 “关”工位有两个限位开关,并且有先后触发顺序。由于机械开关的干涉问题,对限位开关的型号多次选型, 机械挡板设在限位开关保护行程之内,防止转动过位保护限位开关。 编码器系统从最初集成在huber转台内部,后来经过多次讨论,放置到顶部对转台进行直接测量。增加精度和可靠性。 第二shutter设计之转轴和连接圆盘的连接 * 难点:1,转重复定位精度高。2.圆台转动过程中的跳动,会损害huber转台的精度。 解决方案:1)梅花形连接,间隙配合。问题:由于惯性,又造成转台重复运动无法定位的可能。 2) 加入联轴器,克服转动中的跳动损害。轴和圆盘键连接,过盈配合。 联轴器的方案和huber公司的技术人员讨论过,对方持认可态度。 第二shutter计算之部件的应力应变分析计算 对第二束线开关中的拆卸支撑板,调节板,壳体,机械挡板等进行了应力,应变和位移的分析计算。 模拟计算结果满足机械强度需求 第二shutter设计之准直和安装 准直设计难题:1,中间的超镜不能碰触。2,用目前的仪器中间的插件部分很难测量进而调节,3,导管进入束线开关壳体中 解决方案:采用高加工精度的凸台和凹台相配合方法辅助安装。 1,两侧导管以凸台面为基准,同轴化。 2,中间壳体凹面和导管插件同轴化。 3,利用高精度凸凹台配合进行装配,利用底部调节系统和顶部靶标座安装到位。 屏蔽体的设计 机械设计之屏蔽体初步设计 屏蔽体剖面图 屏蔽体设计做到了: 1,底部的水泥块在12度的空间以内,不会超出12度得空间。2,底部水泥块固定在大厅地面上。上面的碳钢和水泥块之间采用钢钎连接和固定。3,由于空间有限,需要利用两侧有限的空间,承载顶部高度为1.9m—1.3m的屏蔽快大小。两侧水泥块太小不足以承重时,利用前后端的屏蔽块进行承重。4,12度空间以外的部分全部堆积活动屏蔽块。 下面的任务: 水泥块之间连接方式的细化。2,设备线路布局的设计 其他工作之模型设计和加工 在杭州大和热磁电子加工的模型,其中中间的部分模拟第二shutter 的壳体,内部有导管模拟件。 主要是验证机械加工精度代替准直精度的准直安装方式。三个部分分别调节准直同轴化。 利用台阶组装,避免了直接对中间导管插件的准直。 部分加工图纸 这是凸台,凹台和导管的加工图纸。 这里只有凸台法兰和凹台法兰,但中间部分是组装完成后再加工出法兰面的,这样才能保证精度。 检测结果 分别检测了, 两端导管:法兰凸台面和壳体的垂直度, 中间部分: 两个凹法兰内侧底面的平行度。2,两个凹法兰的同轴度。 加工和组装的结果比较理想。 第二阶段是对该模型进行准直测量 准直测试 * 和师兄韩庆夫一起进行了初步的准直测试。 由于设备不全而没有完成。目前师兄正在和准直组协商仪器的问题。 其他工作之电动平移台 反射谱仪 服务于高精度四刀狭缝(1微米)的验收。 必要性:(1)测试编码器的交换命令。(2)绝对式光栅尺的信号反馈。(3)检测用的程序的编写。 而所用的编码器系统,读数头和尺子是分离的。电动平移台就是实现读数头和光栅尺的契合。 目的:模拟slit中的一维运动。 辅助进行slit的验收测试。 安装和测试 反射谱仪 平移台 整个系统 安装过程 测试过程 设备调研之散射室内吊车 * 法兰克福提供了单臂桥式和单臂悬挂式两种设计方案。报价是9万左右。科尼公司提供了单臂桥式。由于加入了防潮系统和第二制动系统。报价是21万。国内卫华集团的报价是7万 设备调研之真空电极法兰-MPF 美国MPF公司的产品,内外采用航空插头。19针型设计。价格6500.设计在CF35的法兰上。铜密封垫刀口密封。顶盖上开CF35法兰配合。 设备调研之真空电极法兰-赛琅泰克 赛琅泰克为德国公司,该产品真空侧和空气侧都采用航空插头的连接方式。 只需要在顶盖上开一个CF50的标准法兰即可配合。 型号为18608-01-CF 价格 5000 设备调研之磁流体 杭州大和热磁电子有限公司的产品。不需要冷却水嘴。可以满足我们的要求。 价格8750 株洲伟大科技有限公司的产品。国内公司,专门做磁流体密封。 右边是提供的方案。报

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