时滞控制下的微梳状驱动器动力学分析.pdfVIP

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  • 2019-07-31 发布于安徽
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时滞控制下的微梳状驱动器动力学分析.pdf

Abstract Asoneof themostcritical andmost usedinmicroelec仃o widely mechallical ofmicro system.thepromotioncombactuatorin the and lS application forthe rangeveryimportant ofthe whole development to

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