声表面波器件微制造技术分析.pdfVIP

time time40s． ℃(1Omin)，the 8s，the exposure developing KeyWords：MEMS；bonding；resonator；simulation 万方数据 目 录 l绪 论………………………………………………………………………………………………………………………1 1，l研究背景…………………………………………………………………………………l 112声表面波技术的发展和应用……………………………………………………………1 1．2．1声表面理论和波器件的发展应用…………………………………………………l 1．2．2声表面波器件的特点………………………………………………………………3 1．3课题的研究目的及其研究内容…………………………………………………………4 1．3．1研究内容……………………………………………………………………………4 1．3．2技术路线及实验工艺流程…………………………………………………………5 l，4本文章节安排………