半导体文档教材铜线工艺流程.docVIP

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半导体铜线工艺流程 时间:2010-09-03 剩余:0天 浏览: 37 次 收藏该信息  一、 铜线键合工艺 A、铜线工艺对框架的特殊要求-------铜线对框架的的要求主要有以下几点: 1、 框架表面光滑,镀层良好; 2、 管脚共面性良好,不允许有扭曲、翘曲等不良现象 管脚粗糙和共面性差的框架拉力无法保证且容易出现翘丝和切线造成的烧球不良,压焊过程中容易断丝及出现tail too short ; B、保护气体----安装的时候保证E-torch上表面和right nozzle 的下表面在同一个平面上.才能保证烧球的时候,氧化保护良好.同时气嘴在可能的情况下尽量靠近劈刀,以 保证气体最大范围的保护 C、劈刀的选用——同金线相比较,铜线选用劈刀差别不是很大,但还是有一定的差异: 1、铜线劈刀T 太小2nd容易切断,造成拉力不够或不均匀 2、铜线劈刀CD不能太大,也不能太小,不然容易出现不粘等现象 3、铜线劈刀H与金线劈刀无太大区别(H比铜丝直径大8micro;m即可,太小容易从颈部拉断) 4、铜线劈刀CA太小线弧颈部容易拉断,太大易造成线弧不均匀; 5、铜线劈刀FA选用一般要求8度以下(4-8度) 6、铜线劈刀OR选用大同小异 D压焊夹具的选用 铜线产品对压焊夹具的选用要求非常严格,首先夹具制作材料要选用得当,同时夹具表面要光滑,要保证载体和管脚无松动要,否则将直接影响产品键合过程中烧球不良、断线、翘丝等一系列焊线问题。 二、 铜线的特性及要求 切实可行的金焊线替代产品 。 细铜焊线(1.3mil) 铜焊线,机械、电气性质优异,适用于多种高端、微间距器件,引线数量更高、焊垫尺寸更小。 铜焊线(1.3-4mil) 铜焊线,不仅具有铜焊线显著的成本优势,而且降低了铜焊点中的金属间生长速度,这样就为大功率分立封装带来了超一流的可靠性。 铜焊线的成本优势 由于铜的成本相对较低,因此人们更愿意以铜作为替代连接材料。对于1mil焊线,成本最高可降低75%*,2mil可达90%*,具体则取决于市场状况。 铜焊线的优异性能 铜线的导热导电性能显著优于金线和铝线,因此能够以更细的焊线直径达到更好的散热性能及更高的额定功率。与金相比,铜的机械性质更强,这样在模压和封闭过程中可以得到优异的球颈强度和较高的弧线稳 铜焊线的优点(与金焊线相比) 材料成本低 #8226; 降低单位封装成本,提高竞争优势 导电性好 金焊线4.55 10 E7/ Ohm m 铜焊线5.88 10 E7 / Ohm m #8226;

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