15光学薄膜透、反射率的常用测量方法.pptVIP

光学薄膜的检测 光学薄膜透、反射率的常用测量方法 薄膜透射率和反射率的测量 薄膜透射率与反射率主要是采用光谱测试分析仪进行测试； 透射率和反射率是光学薄膜器件的最基本的光学特性，因此薄膜反射率和透射率测试是光学薄膜的基本测试技术； 按照波段不同划分为：紫外－可见光分光光度计、红外分光光度计； 按测试原理不同划分为：单色仪分光光度计和干涉型光谱测试系统； 光谱仪： 单色仪型分光光度计原理 单 色 仪 光源：稳压电源、可见(钨丝灯或卤钨灯)、紫外(氙灯)、红外(卤钨灯); 照明系统：光束整形与会聚； 单色仪：由色散原件、狭缝机构以及色散原件的扫描驱动；光栅和棱镜 光电传感系统：由光电探测器和处理电路组成； 可见光电接收器：光电三极管、光电倍增管、CCD 红外光电接收器：硫化铅光敏电阻、红外半导体传感器或热电偶 原理 首先不放样品，测出100％透射的光谱信号； 放入样品测试光谱信号； 两个信号进行比较得到透射率； 特点 需要2次测量，测量速度慢； 对光源的稳定性以及系统的稳定性要求极高； 单色仪型分光光度计有单光路与双光路两类 双光路测试 参考光和主光束：分别被探测器接收； 透射率：两信号相除； 测试前要进行系统光谱校正； 干涉型光谱分析系统 红外：2.5～25um； 应用迈克尔逊干涉仪对不同波长的光信号进行频率调制，在频率域内记录干涉强度随光程改变的完全干涉图信号，并对此干涉信号进行傅立叶逆变换，得到被测光光谱； 特点：信噪比高，重复性好，分辨率高，扫描速度快 光谱仪测试一般步骤 一般光谱仪开机后要进行初始化； 进行样品测试参数设定； 放置样品，进行测试； 测试中的注意问题 测量样品口径的影响：当样品小于光斑尺寸(1cm2)，采用光阑限制； 测试样品的厚度：对于较厚的样品在参考光路中也要放入等厚样品 测试样品楔形角影响：光束尽量准直＋实用大口径的积分球探测； 测试样品后表面：根据空白基板的双面透射率，从样品双面透射率数值中求出前表面的透射率数值； 光线的偏振效应：样品垂直放置＋偏振测试装置； 仪器的光谱分辨率：选择合适的分辨率，滤光片要求分辨率高； 空气中某些成分的吸收带影响：二氧化碳吸收，方法是样品室充氮； 光谱分析测试系统-透射率的测量 偏振测量 原理 任意角入射，形成偏振光测试； 晶体偏光棱镜：产生偏振光； 偏光棱镜＋样品台=入射角可变的多角度透射与反射测试系统； 光源为部分偏振光时，薄膜偏振特性的测量 偏振棱镜的测试方法 图（a）放置： 图（b）放置： 对自然光透射率 分光棱镜的透射率为两种放置情况下所得透射率的平均值。 解上述方程组得： 光谱分析仪器比较 性能 Lamda 900PE Cary 5000 岛津UV 365 Hitachi 4100 光谱 175～3330 175～3330 190～2500 185～3330 分辨率 0.08nm 0.1nm 0.1nm 0.1nm 透射精度 0.00008 0.0003 0.001 0.0003 反射测试 可以 可以 可以 偏振测试 可以 可以 可以 光谱分析测试系统-反射率的测量 反射率的测量不如透射率测量普及； 透明带内：R=1-T； 吸收带内：R=1-T-A； 对于吸收膜系或是对损耗敏感的激光高反射膜来说，反射测量不可少； 光谱分析测试系统-反射率的困难 不容易找到在很宽波段范围内具有100％反射率性能长期稳定的参考样品； 在反射率测量中，由于反射光路的变换灵敏，对有样品和无样品时，光斑在光电探测器光敏面上的位置往往变动，这导致误差明显增加； 各种薄膜器件对反射率测量的测量范围和精度多有不同的要求。 减反射膜要求反射率的精度低于0.1％，而激光高反射膜要求反射率在高于99％的范围内能够有优于0.01％的测量精度； 光谱分析测试系统-单次反射法测量反射率 此反射测试系统为小角度的斜入射系统。 光谱分析测试系统-多次反射法测量反射率 单次反射时参考样品反射率影响测试精度； V-W型测试：参考样品先放于位置a 处，测试信号I1；测试样品放于b处，测试信号I2，则R=(I1I2)1/2 样品的反射率为： 利用激光谐振腔测试激光高反射镜的反射率 激光器的谐振腔由一块全反射镜和一块半反半透的镜(输出镜）构成； 当输出镜选定，全反镜反射率改变0.1％，出射激光的强度改变10％，因此可以通过出射激光强度的变化来测定反射镜的反射率； 分光光度计中影响测量的因素： 测量样品的口径对测量结果的影响，如果受样品形状和尺寸的影响，一部分测量光没有经过样品，需要选择合适的小孔光阑。 大气吸收对测量结果的影响，二氧化碳吸收带水蒸气的吸收带回对测量结果带来较大影响。 样品楔角对测量结果的影响，锲形的测试样品会影响测量精度。 测试样品厚度对测试结果的影响，较厚的高折射率基片会使光束在接受