第三章 先进制造工艺技术.pptVIP

第三章 先进制造工艺技术 这个是什么？ 制造工艺技术概述 制造工艺技术：将原材料转化成具有一定几何形状、一定材料性能和精度要求的可用零件的一切过程和方法的总称。 制造工艺方法 二、特种加工技术 3.2.1 概述： 特种加工亦称“非传统加工”或“现代加工方法”，泛指用电能、热能、光能、电化学能、化学能、声能及特殊机械能等能量达到去除或增加材料的加工方法，从而实现材料被去除、变形 、改变性能或被镀覆等。 特种加工的特点 1. 主要利用电能、电化学能、声能、光 能、热能等去除材料，而不是主要依 靠机械能 一、激光加工原理 最新激光加工技术 3.2.3 光刻蚀技术 光刻蚀加工又称光刻加工或刻蚀加工。目前，光刻技术主要针对集成电路制作中得到高精度微细线条所构成的高密度微细复杂图形，是对薄膜表面及金属板表面进行精细、微小和复杂图形加工的技术。 1. 光刻蚀原理 所谓的光刻蚀就是使用电磁波频谱中的光束或电子、X射线和离子等射线，将光致抗腐蚀剂（光刻胶）形成规定图形的微细加工方法。 光刻工艺的一般过程 （1）掩膜制造。 （2）光刻蚀加工 1）涂胶 2）曝光 3）显形与烘片 4）腐（刻）蚀 5）剥膜与检查 3.2.4 电子束加工 电子束加工（简称E