半导体工艺基础 第四章——电子衍射.pdf

第四章电子衍射 【教学内容】 第一节 概述 第二节 电子衍射原理 第三节 电子显微镜中的电子衍射 第四节 单晶电子衍射花样标定 2 【重点内容】  了解电子衍射与X射线衍射的差异;  掌握电子的衍射的原理;  理解并掌握晶带定理与零层倒易空间的含义  了解偏移矢量与倒易阵点扩展  掌握电子衍射基本公式  掌握有效相机常数与单晶体电子衍射花样的标定 【教学难点】 单晶体电子衍射花样标定 3 第一节 概述 第二节 电子衍射原理 第三节 电子显微镜中的电子衍射 第四节 单晶电子衍射花样标定 4 第四章 电子衍射_概述 电子衍射：当电子波穿过晶体的时候，被晶体中的原子散射，