碱性蚀刻设备认可报告.docVIP

YZ Manufacturing Engineering PAGE PAGE 1 - - 致：PUR 影送：向世忠先生 由：ME 梁兵 郭志洪先生 发出：庄创伟 吴宏昌先生 日期：2016/2/29 李 伟先生 文件编号： 王海峰先生 永天碱性蚀刻线设备认可报告 一、背景： 永天碱性蚀刻线于2014年12月份开机试用，经过对设备稳定性与品质稳定性的跟踪与测试，现对设备进行评估认可。 二、设备图片： 三、设备简介： 1.所属制程：电镀； 2.作用：将图电后板进行退膜→蚀刻→退锡，最终得到所需的线路图形； 3.优点：较酸性蚀刻有较为精细的线宽线距控制能力，同时有效避免开路报废问题； 4.制程能力简介： A.最大板尺寸：710*660mm; B.最小板尺寸：200*200mm； C.板厚区间：0.3～0.32mm； D.设计理论产能：58万尺； 5.生产板实物图： 生产前 退膜后 蚀刻后 剥锡后 5.设备生产流程： 入板→膨松→退膜1→退膜2→冲污水→HF水洗1.2→高压水洗→HF水洗3.4→清水洗→检查1→补偿蚀刻→蚀刻1→蚀刻2→蚀刻3→子液洗→溢流水洗1.2.3.4→清水洗→检查2→除钯→溢流水洗5.6.7.8→清水洗→退锡1→退锡2→溢流水洗9.10.11.12→清水洗→检查3→磨板→溢流水洗13.14.15.16.17→清水洗→干板组合→出板； 四、设备硬件功能确认： 流程 项目 要求 结论 备注 膨松、退膜、蚀刻、子液洗、除钯、 退锡 传动 滚轮无跳动、停顿、卡死 Ok 传动轴断裂过3次，现在已焊接好 漏液 无漏液 Ok 退膜段过滤桶连接处漏药4次，已修复；蚀刻泵漏药已更换新泵 温度 是否可将温度控制在±2℃偏差内 Ok 液位感应器 低液位报警并自动关闭过滤泵 Ok 压力 1.0～2.0kg/cm2可调 Ok 进排水管道 进/排水种类接管无异常 Ok 水洗段 传动 滚轮无跳动、停顿、卡死 Ok 漏液 无漏液 Ok 液位感应器 低液位报警并自动关闭过滤泵 Ok 压力 1.0～2.0kg/cm2可调 Ok 进排水管道 进/排水种类接管无异常 Ok 干板组合 烘干 是否可将温度控制在80～90℃ Ok 添加缸 加药控制 自动加药频率与加药量无异常 Ok 五、设备故障率： 1.设备故障次数： 2.设备停机维修时间比例： 3.小结： 通过设备故障率统计分析，设备故障率小于5%，可以接受。 六、设备参数： 1.设备控制参数 碱性蚀刻线 控制范围 碱性蚀刻线 控制范围 褪膜段速度（m/min） 3.5-5.0 蚀刻比重 1.20-1.208 褪膜上压（kg/cm2） 2.5+0/-1 剥锡段速度（m/min） 3.5-5 褪膜下压（kg/cm2） 2.5+0/-1 剥锡上压（kg/cm2） 2.3+0/-1 褪膜温度（℃） 48-52 剥锡下压（kg/cm2） 2.3+0/-1 蚀刻段速度（m/min） 3.5-5.5 剥锡温度（℃） 28-32 蚀刻温度（℃） 48-52 烘干温度（℃） 75-85 蚀刻上压（kg/cm2） 2.0±0.5 磨板电流 2.5-3.5A 蚀刻下压（kg/cm2） 2.0±0.5 高压水洗 压力（kg/cm2） 10±3 水洗段 压力（kg/cm2） 2.0+0/-1 水洗流量L/MIN 6-8 水洗流量L/MIN 6-8 2.药水反应时间： 段别 要求药水反应时间（s） 实际药水反应时间（s） 判定结果 备注 退膜 ≥91 110 Ok 以3.5m/min速度计 蚀刻 ≥55 70 Ok 除钯 ≥25 28 Ok 退锡 ≥63 72 Ok 3.输送确认： 测试方法