特气系统安全培训课件.pptVIP

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS Nano Fabrication Facility 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS 主编：加工平台范亚明 特气系统安全培训 目录 1. 气柜概述 2.自动气柜安全配置 3.系统参数含义及作用 4. 气柜的安全性能 5. 常见故障及处理方法 特气系统培训 Gas Cabinet的用途 实现安全的连续的供应某种特殊气体,供机台制程使用,满足生产用气要求. 为保证供气的联系性,一般左右盘面均为独立的操作执行体. 能够在保证一边供气的前提下,另外一边实现Purge, 更换钢瓶,并直至到Standby. 等待被自动切换当另外一边气体被用完后. 可以实现跟VMB, Scrubber 等设备的联动根据客户的要求. 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS NH3SiH4Psi---pounds per square inch 磅/平方英寸（1Mpa=145psi=10.2kg） ·无水氨气是一种刺激性、无色储存于钢瓶的液化压缩气体。其存储压力为其蒸汽压114 psi ·需避免的情况： 高温(大于426℃)，钢瓶储存温度不可高于52℃ ·比重：(空气＝1) 0.59 ·不可燃气体!但当它在空气中的浓度超过15%时有立即造成火灾及爆炸的危险 ·可自燃气体! 硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体。该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾。 其存储压力为其蒸汽压900~1100psi 。 ·如果泄放硅烷时压力过高或速度过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的硅烷如没有自燃会非常危险，不要靠近。 ·比重：（空气＝1) 1.2 ·不要用卤化物类灭火器。从最远的距离用水冷却暴露在火 焰中的钢瓶。 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS 特气系统培训 硅烷和氨气主要在太阳能生产上用于等离子化学气相沉积(PEVCD) 之中. 等离子化学气相沉积(PEVCD)：PEVCD被使用来在硅片上沉积氮化硅材料，是在300-900℃的温度下通过化学反应产生Si3N4的过程。 典型的化学反应为：SiH4 + NH3 → Si3N4 + NH3 + N2 全自动气柜安全配置 Fire Sensor(火焰侦测) High Temp Sensor(高温传感器) Auto Guard(钢瓶接口处的安全装置) Sprinkler(喷淋装置) Seismic Detector(防震探测器) Gas Leak Detector(毒气侦测器) 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS Fire Sensor(火焰侦测) 定义:此设备是针对一些易燃气体,易爆气体或因为其他原因而设 工作原理:当气柜里面有火焰时气柜内部会有个超声波检测模块(UV-TRON)探测到一个特殊的频段,产生报警信号 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS High Temp Sensor(高温传感器) 定义:此设备的目的是为了防止气柜内部温度过高而导致危险 工作原理:这是一个双金属开关,它由两个受热膨胀绿不同的金属片组成,从而控制电信号开关. 规格:工作温度是72℃,超过72度便产生报警信号. 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS Auto Guard(钢瓶接口处的安全装置) 定义:这个装置的目的是为了保证换钢瓶的安全.为了防止在没有进行换瓶前吹扫便把钢瓶卸下从而导致毒气泄漏. 工作原理: