二维精密运动平台的轮廓伺服控制器设计.pdfVIP

摘要 摘 要 精密运动控制技术在超精密机床、精密医疗器械、精密测量仪器中应用广 泛。为了提高系统的运动精度，本文主要以滚珠丝杠驱动的精密二维运动平台 为应用背景，对其单轴伺服控制器及轮廓伺服控制器进行了系统设计与性能分 析，从伺服算法层面上来提高系统的运动精度。 首先，本文采用理论推导与Matlab 数值仿真的方法，对单轴全闭环控制模 型进行了仿真建模，对单轴进给系统进行了三环仿真，在运动控制器中闭合位 置环，在驱动器中闭合环速度环和电流环。为了简化控制模型，本文将速度控 制单元简化为一阶惯性环节，完成了对单轴伺服全闭环控制系统的建模。 然后，本文采用非线性PID 算法对单轴伺服控制系统的位置环进行了单独 设计，提高了控制系统的定位精度。基于复合控制原理，设计了速度前馈和干 扰观测器，提高了系统的速度跟随性能，减小了系统的稳态跟随误差，也进一 步提高了系统的鲁棒性。在此基础上，本文采用变增益的交叉耦合控制算法设 计了二维工作台的轮廓控制器，将开环的轮廓控制变为闭环的轮廓轨迹控制， 进一步提高了二维工作台的轮廓轨迹精度。 最后，本文基于Turbo P