单晶硅多晶硅的生产工艺以及性质特点培训课件.pptVIP

目录 硅的含量及存在形式 国内硅矿分布情况 国外硅矿的分布 据资料记载，巴西较为丰富，次之为马达加斯加和危地马拉。美国、加拿大、苏联、法国、意大利、印度、澳大利亚、土耳其、缅甸等30多个国家和地区有少量资源。 硅的分类 工业硅 工业硅的纯度约为98%-99%，又称为冶金级硅。 其中含有各种杂质，如Fe、C、B、P 等 工业硅的价格 工业硅的生产方法 工业硅的用途 （1）配制合金 （2）制造高纯半导体 （3）制造有机硅 （4）制作耐高温材料和其他材料 配制合金 高纯半导体 有机硅 耐高温材料和其他材料 全球多晶硅价格行情 多晶硅的用途 我国及全球多晶硅生产情况 我国多晶硅厂家生产情况 改良西门子法 改良西门子法主要包括五个环节 反应原理 氯化氢合成炉 SiHC13的合成在沸腾炉中进行 SiHCl3的氢还原在还原炉内进行 尾气回收 活性炭吸附纯化氢气 尾气回收装置 改良西门子法产生的废气物 反应产生的三氯氢硅，氯化硅，氯化氢均为主要空气污染物的卤化物。 四氯化硅是最改良西门子法生产时产生的主要的污染物。 硅烷法 反应原理 硅烷法小结 硅烷热分解法能耗仅为40 KW·h／kg 硅烷不但制造成本高，而且是有毒、易燃、易爆、安全性差，因此，工业生产中，硅烷热分解法的应用不及西门子法。 流化床反应法 流化床示意图 各种工艺比较 多晶硅具有半导体性质，是极为重要的 优良半导