无尘室技术应用.doc

PAGE PAGE 1 南台科技大學95學年度第1學期課程資訊 課程名稱 無塵室技術應用 課程編碼 10D13801 系所代碼 1 開課班級 四技奈米三甲 四技奈米三乙 開課教師 魏慶華 學分 3.0 時數 3 上課節次地點 二1 2 3 教室K303 必選修 選修 課程概述 使學生對於下述課程內容具備基本知識與能力 潔淨室簡介、潔淨室氣流運動、灰塵之來源與物性及濾除與檢測技術、半導體製程之潔淨室設計規劃、半導體製程之空氣供應系統、無塵衣之選擇 課程目標 使學生對無塵室之運轉與管理具備下列基本能力 1. 正壓操作原理及計算 2. 集塵設備與原理認識及塵粒檢測與分析 3. 無塵室之空氣供應系統設計與操作 4. 無塵室人員進出及無塵衣選擇及清洗管理 課程大綱 1. 潔淨室簡介：潔淨室之演進、潔淨室之定義及等級分類與規格、潔淨室之型式 2. 潔淨室氣流運動：污染物顆粒與氣流之關係、潔淨室內氣流之一般操作情況、氣流速度分析、障礙物對氣流之影響 3. 灰塵之來源與物性及濾除與檢測技術：塵粒之物性與分佈特性、除塵方式介紹、空氣過濾器、空氣過濾器捕集塵粒之原理及其特性曲線、空氣過濾器捕集效率測定法、空氣過濾器壓力損失與空氣流量之關係、靜電式空氣過濾器、塵粒計數器之原理及選擇 4. 半導體製程之潔淨室設計規劃：半導體製程之潔淨室構造與運轉系統介紹、震動與靜電及電磁波防制、潔淨室建造方式及材料 5. 半導體製程之空氣供應系統：空調原理簡介、空調基礎計算原理、潔淨室空調需求特性、基本空調控制系統、外氣控制、最少外氣控制法、預熱與主加熱系統、冷卻盤管控制系統與冷卻除濕控制系統、增濕控制系統、整合型空氣供應系統 6. 無塵衣之選擇：依靜電防制、穿著舒適與、污染物是否容易從無塵布料穿透否、材質的清潔度的分別評估 英文大綱 1. Introduction to Cleanroom 2. Air Flow Characteristic Features in Cleanroom 3. Origin and Physical Properties of Contamination in Clearroom 4. Filtration of Contamination in Clearroom 5. Cleanroom Facilities in Semiconductor Industry 6. Air Handling System Design and Management in Clearroom 7. Selection of Working Clothes in Clearroom 教學方式 課堂講授, 評量方法 自行設計測驗, 作業／習題練習, 課程參與度(出席率), 指定用書 無塵室技術設計測試與運轉 參考書籍 [1]顏登通，“潔淨室設計與管理”，全華科技圖書公司，民國89年 [2]Whyte, W., “Cleanroom Design”, John Wiley Sons, 1991, 2000（歐亞圖書公司代理） 先修科目 最好有熱力學與流體力學的基礎 教學資源 注意事項 評分標準： 平時成績（作業與出席率）30%；期中考30%；期末考40% 全程外語授課 授課語言1 授課語言2 輔導考照1 輔導考照2